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超高真空ゲートバルブ ICF規格 GV203-M-AOV株式会社

全型番で同じ値の指標

メーカー

HTC

開閉方式

手動

接続フランジ

ICF203

仕様圧力範囲

1X10-8Pa~大気圧

この製品について

■製品説明

HTC社の超高真空ゲートバルブは、製品の品質、信頼性およびコストパフォーマンスを確保するために、長期にわたる開発を経てリリースされました。このバルブは、化学的なあるいは微粒子による汚染が発生する半導体製造システムをはじめとする各種用途において、安定して機能します。

■特徴

ICF接続フランジを備え、真空度が10-8Paの超高真空アプリケーション向けに設計されています。従来のバイトンOリングの代わりにOFHC (無酸素高導電銅) ガスケットを使用しており、ベーキング許容温度が200℃と高いため、アウトガスの低減が求められる用途などに適しています。サイズバリエーションは、手動式3種類、圧空式3種類を提供しています。

  • 型番

    GV203-M

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超高真空ゲートバルブ ICF規格 GV203-M GV203-Mの性能表

商品画像 価格 (税抜) メーカー 開閉方式 接続フランジ 仕様圧力範囲
超高真空ゲートバルブ ICF規格 GV203-M-品番-GV203-M 要見積もり HTC 手動 ICF203 1X10-8Pa~大気圧

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使用用途

#半導体製造 #大型ディスプレイ製造 #排気制御 #圧力調整 #ワーク搬送

駆動方式

手動型 空圧型 電動型

構造形式

スロット型 ラウンド型

シール方式

メタルシール型 エラストマーシール型 ハイブリッドシール型

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この商品の取り扱い会社情報

  • 本社所在地: 神奈川県

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