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返答率
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返答時間
115.0時間
手法
蒸気相分解 (VPD) を伴う全反射X線蛍光分析 (TXRF)
用途
極微量元素niyoru表面汚染の測定 1E7原子/cm²の検出限界 マッピング速度の約3倍の改善
主要コンポーネント
3検出器構成 高出力W対陰極X線源 (9 kW回転対陰極) 軽元素、遷移元素、重元素に最適化された3つの励起エネルギー XYθ試料ステージ デュアルFOUPロードポート
特徴
フルウェーハマッピング (SWEEPING-TXRF) ゼロエッジ除外 (ZEE-TXRF) 最高感度のためのSiウェーハ用の統合された自動VPD前処理 (VPD-TXRF) デュアルFOUPロードポート
本体寸法
1,280 (W) x 3,750 (D) x 2,040 (H) (モニターとシグナルタワーを除く)
測定結果
定量結果、スペクトルチャート、カラーコンターマップ、マッピングテーブル
型番
XHEMIS TX-3000V取扱企業
株式会社リガクカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 手法 | 用途 | 主要コンポーネント | 特徴 | 本体寸法 | 測定結果 | オプション | テクノロジー |
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要見積もり | 蒸気相分解 (VPD) を伴う全反射X線蛍光分析 (TXRF) |
極微量元素niyoru表面汚染の測定 1E7原子/cm²の検出限界 マッピング速度の約3倍の改善 |
3検出器構成 高出力W対陰極X線源 (9 kW回転対陰極) 軽元素、遷移元素、重元素に最適化された3つの励起エネルギー XYθ試料ステージ デュアルFOUPロードポート |
フルウェーハマッピング (SWEEPING-TXRF) ゼロエッジ除外 (ZEE-TXRF) 最高感度のためのSiウェーハ用の統合された自動VPD前処理 (VPD-TXRF) デュアルFOUPロードポート |
1,280 (W) x 3,750 (D) x 2,040 (H) (モニターとシグナルタワーを除く) |
定量結果、スペクトルチャート、カラーコンターマップ、マッピングテーブル |
バックサイド解析 (BAC-TXRF) |
統合された自動VPD準備、三重ビーム励起、および自動光学部品交換 |
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