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100.0%
返答時間
115.0時間
手法
全反射蛍光X線 (TXRF)
用途
微量元素の表面汚染 (Na - U) の高速かつ非破壊での測定 マッピング速度の約3倍の改善 E9原子/cm²の検出限界
主要コンポーネント
3検出器構成 高出力W対陰極X線源 (9 kW回転対陰極) 軽元素、遷移元素、重元素に最適化された3つの励起エネルギー XYθ試料ステージ 2つのFOUPロードポート
特徴
フルウェーハマッピング (SWEEPING-TXRF) 、ゼロエッジ除外 (ZEE-TXRF)
本体寸法
1,280 (幅) x 3,750 (奥行き) x 2,040 (高さ) (モニターと信号塔を除く)
測定結果
定量結果、スペクトルチャート、カラーコンターマップ、マッピングテーブル
型番
XHEMIS TX-3000取扱企業
株式会社リガクカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 手法 | 用途 | 主要コンポーネント | 特徴 | 本体寸法 | 測定結果 | オプション | テクノロジー |
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要見積もり | 全反射蛍光X線 (TXRF) |
微量元素の表面汚染 (Na - U) の高速かつ非破壊での測定 マッピング速度の約3倍の改善 E9原子/cm²の検出限界 |
3検出器構成 高出力W対陰極X線源 (9 kW回転対陰極) 軽元素、遷移元素、重元素に最適化された3つの励起エネルギー XYθ試料ステージ 2つのFOUPロードポート |
フルウェーハマッピング (SWEEPING-TXRF) 、ゼロエッジ除外 (ZEE-TXRF) |
1,280 (幅) x 3,750 (奥行き) x 2,040 (高さ) (モニターと信号塔を除く) |
定量結果、スペクトルチャート、カラーコンターマップ、マッピングテーブル |
バックサイド解析 (BAC-TXRF) 、GEM300ソフトウェア、E84/OHTサポート |
高感度金属汚染分析 |
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