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返答率
100.0%
返答時間
115.0時間
手法
全反射蛍光X線 (TXRF)
用途
ウェーハ汚染を測定するためのNaからUまでの元素分析
主要コンポーネント
最大200 mmウェーハ対応XYθサンプルステージシステム、真空ウェーハ内ロボット搬送システム、ECS / GEM通信ソフトウェア
制御 (PC)
内部PC、MS Windows® OS
本体寸法
1,000 (W) x 1,760 (H) x 948 (D) mm
質量
100 kg (本体)
電源
三相 200 VAC 50/60 Hz, 100 A
型番
TXRF 3760取扱企業
株式会社リガクカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 手法 | 用途 | 主要コンポーネント | 制御 (PC) | 本体寸法 | 質量 | 電源 | オプション | テクノロジー |
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要見積もり | 全反射蛍光X線 (TXRF) | ウェーハ汚染を測定するためのNaからUまでの元素分析 | 最大200 mmウェーハ対応XYθサンプルステージシステム、真空ウェーハ内ロボット搬送システム、ECS / GEM通信ソフトウェア | 内部PC、MS Windows® OS | 1,000 (W) x 1,760 (H) x 948 (D) mm | 100 kg (本体) | 三相 200 VAC 50/60 Hz, 100 A |
スイープTXRFソフトウェア (「ホットスポット」を識別するためにウェーハ表面上の汚染物質分布のマッピングを可能にする。 ゼロエッジ除外で測定を可能にするZEE-TXRF機能) |
液体窒素フリー検出器を備えた3ビームTXRFシステム |
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X線分析装置をフィルターから探すことができます
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