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返答率
100.0%
返答時間
115.0時間
手法
X線反射率 (XRR) 、エネルギー分散型蛍光X線分析 (EDXRF) 、X線回折 (XRD)
利点
超薄膜からミクロンオーダーの膜までの製品ウェーハの高スループット測定；幅広い厚さと膜タイプに適用可能
特性
ブランケットおよびパターン化ウェーハの計測 モノクロマチックなマイクロスポットX線ビームモジュール (COLORS)
特長
最大108のダイナミックレンジを持つ超高速検出器 デュアルオープンカセットロードポート
寸法
1,612 (幅) ×3,395 (奥行き) ×2,118 (高さ) mm
測定結果
EDXRF：膜の厚さと組成 XRR：膜の厚さ、密度、および粗さ
型番
XTRAIA MF-2000取扱企業
株式会社リガクカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 手法 | 利点 | 特性 | 特長 | 寸法 | 測定結果 | オプション | テクノロジー |
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要見積もり | X線反射率 (XRR) 、エネルギー分散型蛍光X線分析 (EDXRF) 、X線回折 (XRD) | 超薄膜からミクロンオーダーの膜までの製品ウェーハの高スループット測定；幅広い厚さと膜タイプに適用可能 |
ブランケットおよびパターン化ウェーハの計測 モノクロマチックなマイクロスポットX線ビームモジュール (COLORS) |
最大108のダイナミックレンジを持つ超高速検出器 デュアルオープンカセットロードポート | 1,612 (幅) ×3,395 (奥行き) ×2,118 (高さ) mm | EDXRF：膜の厚さと組成 XRR：膜の厚さ、密度、および粗さ |
SECS/GEMソフトウェア SMIFロードポート |
2つのオープンカセットロードポートを備えたプロセスマイクロスポットXRR、EDXRF、およびXRD |
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