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返答率
100.0%
返答時間
115.0時間
計測タイプ
デュアルヘッドマイクロスポットEDXRFおよび光学検査 (2D-3D)
ウェーハサイズ
最大300mm
ウェーハタイプ
ブランケットとパターンウェーハ
ナビゲーション
画像認識アルゴリズムで補完された精密ステージ 単一の特徴中心へのサブミクロンの高速ナビゲーション
マイクロXRFビームの方向
垂直入射マイクロスポット (µXRF)
光学系
Polychromatic (X線光学系) およびCOLORS "Monochromatic" (X線光学系)
検出器タイプ
シリコン・ドリフト検出器 (SDD) ： 3つの構成 1. レギュラー > Al 2. 軽元素： C、N、O、F、S 3. 重元素： > Ge (Ag、Snに最適化)
DPP｜デジタル・パルス・プロセッサー
100万光子/秒以上の高効率
型番
ONYX 3200取扱企業
株式会社リガクカテゴリ
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電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
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返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 計測タイプ | ウェーハサイズ | ウェーハタイプ | ナビゲーション | マイクロXRFビームの方向 | 光学系 | 検出器タイプ | DPP｜デジタル・パルス・プロセッサー |
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要見積もり | デュアルヘッドマイクロスポットEDXRFおよび光学検査 (2D-3D) | 最大300mm | ブランケットとパターンウェーハ |
画像認識アルゴリズムで補完された精密ステージ 単一の特徴中心へのサブミクロンの高速ナビゲーション |
垂直入射マイクロスポット (µXRF) | Polychromatic (X線光学系) およびCOLORS "Monochromatic" (X線光学系) |
シリコン・ドリフト検出器 (SDD) ： 3つの構成 1. レギュラー > Al 2. 軽元素： C、N、O、F、S 3. 重元素： > Ge (Ag、Snに最適化) |
100万光子/秒以上の高効率 |
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測定原理がエネルギー分散型の製品
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