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返答率
100.0%
返答時間
115.0時間
手法
蛍光X線および光学顕微鏡
用途
極薄の単層フィルムから多層スタックまでを測定します。 BEOLおよびWLP構造の特性評価
主要コンポーネント
SEMIS2およびSEMIS8、マイクロスポットポリキャピラリーX線光学系に基づく設計
制御 (PC)
内部PC、MS Windows® OS
本体寸法
1,390 (W) x 2,040 (H) x 2,960 (D) mm
重量
1,250 kg (本体)
電源
単相 208 VAC 50/60 Hz, 16A
型番
ONYX 3000取扱企業
株式会社リガクカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 手法 | 用途 | 主要コンポーネント | 制御 (PC) | 本体寸法 | 重量 | 電源 | オプション | テクノロジー |
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要見積もり | 蛍光X線および光学顕微鏡 | 極薄の単層フィルムから多層スタックまでを測定します。 BEOLおよびWLP構造の特性評価 | SEMIS2およびSEMIS8、マイクロスポットポリキャピラリーX線光学系に基づく設計 | 内部PC、MS Windows® OS | 1,390 (W) x 2,040 (H) x 2,960 (D) mm | 1,250 kg (本体) | 単相 208 VAC 50/60 Hz, 16A |
SECS / GEM通信ソフトウェア、COLORSビームモジュール |
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