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100.0%
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115.0時間
手法
走査型波長分散蛍光X線分析 (WDXRF)
用途
φ50mmからφ300mmウェーハ、チップやカットウェーハ等、あらゆる試料の膜厚、組成分析
主要コンポーネント
4 kW封入型X線管球、走査型ゴニオメーター、1次X線フィルター、φ 30、20、10、1、0.5 mm視野制限ユニット
制御 (PC)
外部PC、MS Windows® OS、膜厚組成同時分析標準ソフトウェア
本体寸法
1,376 (W) x 1,710 (H) x 890 (D) mm
重量
約 800 kg (本体)
電源
三相 200 VAC 50/60 Hz, 50A
型番
AZX 400取扱企業
株式会社リガクカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 手法 | 用途 | 主要コンポーネント | 制御 (PC) | 本体寸法 | 重量 | 電源 | オプション | テクノロジー |
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要見積もり | 走査型波長分散蛍光X線分析 (WDXRF) | φ50mmからφ300mmウェーハ、チップやカットウェーハ等、あらゆる試料の膜厚、組成分析 | 4 kW封入型X線管球、走査型ゴニオメーター、1次X線フィルター、φ 30、20、10、1、0.5 mm視野制限ユニット | 外部PC、MS Windows® OS、膜厚組成同時分析標準ソフトウェア | 1,376 (W) x 1,710 (H) x 890 (D) mm | 約 800 kg (本体) | 三相 200 VAC 50/60 Hz, 50A |
ウェーハローダー、SQX ソフトウェア、CCDカメラ |
半導体材料として重要なB、C、N、Oを含む、Be~Uまでの全元素を1台でカバー |
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