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返答率
100.0%
返答時間
3.5時間
MAXスピード
30°/sec
ステージ上面材質
・アルミ ・アルミニウム青銅
センサ品番
BP4SWA ( (株) メトロール)
テーブル面サイズ
φ25mm
バックラッシ
1μm
モーメント剛性 ピッチング
10"/N.cm
リミットセンサ
タッチセンサ (NORMAL OPEN)
ロストモーション
0.05°
位置決め精度
0.2°
移動機構
ウォームギヤ (1:72)
回転範囲
反時計周りCCW方向は∞ 時計周りCW方向は0度付近 (−5°) で停止
繰返し位置決め精度
0.02°
原点センサ
無
質量
0.25kg
耐荷重
9.8N (1.0kgf)
表面処理
黒アルマイト
分解能 Full
0.01°/パルス
分解能 Half
0.005°/パルス
平行度
50μm
面振れ量
30μm
型番
OSCM-25YAW取扱企業
シグマ光機株式会社カテゴリ
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回転ステージの製品263点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | MAXスピード | ステージ上面材質 | センサ品番 | テーブル面サイズ | バックラッシ | モーメント剛性 ピッチング | リミットセンサ | ロストモーション | 位置決め精度 | 移動機構 | 回転範囲 | 繰返し位置決め精度 | 原点センサ | 質量 | 耐荷重 | 表面処理 | 分解能 Full | 分解能 Half | 平行度 | 面振れ量 |
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要見積もり | 30°/sec |
・アルミ ・アルミニウム青銅 |
BP4SWA ( (株) メトロール) | φ25mm | 1μm | 10"/N.cm | タッチセンサ (NORMAL OPEN) | 0.05° | 0.2° | ウォームギヤ (1:72) | 反時計周りCCW方向は∞ 時計周りCW方向は0度付近 (−5°) で停止 | 0.02° | 無 | 0.25kg | 9.8N (1.0kgf) | 黒アルマイト | 0.01°/パルス | 0.005°/パルス | 50μm | 30μm |
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使用用途
#光学調整 #半導体検査 #計測装置 #精密加工 #研究開発 #組立工程駆動方式
手動型 モータ駆動型 空圧駆動型 電磁駆動型軸構成
単軸型 直交多軸型 同軸多軸型 傾斜回転型回転機構
ウォームギア型 ダイレクトドライブ型 ベルト駆動型 摩擦駆動型精度グレード
標準精度型 高精度型 超高精度型 自己位置検出型回転範囲θZ °
0 - 200 200 - 360最大角速度 °/秒
0 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 3,100耐荷重 N
0 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 20,000 20,000 - 50,000 50,000 - 200,000双方向繰り返し精度 µrad
0 - 10 10 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 1,500駆動トルク N·m
0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5動作電圧 V
20 - 30 30 - 40 40 - 50
