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100.0%
返答時間
3.5時間
MAXスピード
30°/sec
ステージ材質
・アルミ ・アルミニウム青銅
センサ品番
マイクロフォトセンサ PM-F25 (SUNX (株) )
テーブル面サイズ
φ160mm
バックラッシ
0.003°
モーメント剛性
0.01"/N.cm
リミットセンサ
有 (NORMAL CLOSE)
ロストモーション
0.01°
位置決め精度
0.1°
移動ガイド
ベアリング方式
移動機構 減速比
ウォームギヤ (1:144)
回転範囲
・反時計周りCCW方向は∞ ・時計周りCW方向は0度付近 (−2.5°) で停止
近接原点センサ
無
繰返し位置決め制度
0.01°
原点センサ
無
最小応答分解能 参考
0.2mdeg
質量
8.5kg
耐荷重
392N (40.0kgf)
同心度
20μm
分解能 Full
0.005°/パルス
分解能 Half
0.0025°/パルス
平行度
50μm
面振れ量
0.02mm
型番
HST-160YAW-0B取扱企業
シグマ光機株式会社カテゴリ
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回転ステージの製品263点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | MAXスピード | ステージ材質 | センサ品番 | テーブル面サイズ | バックラッシ | モーメント剛性 | リミットセンサ | ロストモーション | 位置決め精度 | 移動ガイド | 移動機構 減速比 | 回転範囲 | 近接原点センサ | 繰返し位置決め制度 | 原点センサ | 最小応答分解能 参考 | 質量 | 耐荷重 | 同心度 | 分解能 Full | 分解能 Half | 平行度 | 面振れ量 |
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要見積もり | 30°/sec |
・アルミ ・アルミニウム青銅 |
マイクロフォトセンサ PM-F25 (SUNX (株) ) | φ160mm | 0.003° | 0.01"/N.cm | 有 (NORMAL CLOSE) | 0.01° | 0.1° | ベアリング方式 | ウォームギヤ (1:144) |
・反時計周りCCW方向は∞ ・時計周りCW方向は0度付近 (−2.5°) で停止 |
無 | 0.01° | 無 | 0.2mdeg | 8.5kg | 392N (40.0kgf) | 20μm | 0.005°/パルス | 0.0025°/パルス | 50μm | 0.02mm |
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使用用途
#光学調整 #半導体検査 #計測装置 #精密加工 #研究開発 #組立工程駆動方式
手動型 モータ駆動型 空圧駆動型 電磁駆動型軸構成
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ウォームギア型 ダイレクトドライブ型 ベルト駆動型 摩擦駆動型精度グレード
標準精度型 高精度型 超高精度型 自己位置検出型回転範囲θZ °
0 - 200 200 - 360最大角速度 °/秒
0 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 3,100耐荷重 N
0 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 20,000 20,000 - 50,000 50,000 - 200,000双方向繰り返し精度 µrad
0 - 10 10 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 1,500駆動トルク N·m
0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5動作電圧 V
20 - 30 30 - 40 40 - 50
