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アプリケーションシステム 光学欠陥検査システム Custom-made_OS-ODISYS-シグマ光機株式会社

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返答率

100.0%

返答時間

3.5時間

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カタログコード

W2094

観察範囲

φ22mm

実視野

35.7mm×22.3mm

作動距離

40mm

光学分解能

38μm

検出性能/傷幅

1μm

検出性能/傷深さ

>50 nm

検出性能/スクラッチーディグ

10-5 ~

カメラ

1/1.2インチ (2.3M pixel) 、セルサイズ:5.86×5.86μm、USB3.0 Super Speed

観察波長

可視 (400~700nm)

対象物

ガラス、SiC、フィルム、ミラー等、平面、凹凸面 (R20~R1,000)

フォーカスユニット

Z:±30mm

アライメントステージ

XY:±24mm、α:±20°、β:±15°

サンプルホルダー

φ50mm、t=10mm

この製品について

■概要

目視検査を自動化することで、検査員の人員削減や検査品質を均一化ができます。透明なガラスなどの光学部品は光を透過するため、目視で欠陥を識別するには熟練の経験が必要です。 本システムでは広視野の暗視野観察が可能な同軸落射照明の顕微鏡を用いることで、微細な表面欠陥の散乱光の可視化が行えます。また抽出された欠陥画像は、ディープラーニングを活用したAIモデルにて、熟練の検査員同等の精度で定量的な検査が可能です。

■詳細

ビジョンコントローラは、取得された画像から、任意に設定した欠陥 (スクラッチーディグ) サイズを検出して合否判定が行えます。学習 (注釈) 機能を有しているため異なる種類の欠陥を設定したり、長さのキャリブレーションなどが行える汎用性のあるソフトウェアです。 (Eureka Robotics社との共同開発製品)

  • 型番

    Custom-made_OS-ODISYS

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アプリケーションシステム 光学欠陥検査システム Custom-made_OS-ODISYS Custom-made_OS-ODISYSの性能表

商品画像 価格 (税抜) カタログコード 観察範囲 実視野 作動距離 光学分解能 検出性能/傷幅 検出性能/傷深さ 検出性能/スクラッチーディグ カメラ 観察波長 対象物 フォーカスユニット アライメントステージ サンプルホルダー
アプリケーションシステム 光学欠陥検査システム Custom-made_OS-ODISYS-品番-Custom-made_OS-ODISYS 要見積もり W2094 φ22mm 35.7mm×22.3mm 40mm 38μm 1μm >50 nm 10-5 ~ 1/1.2インチ (2.3M pixel) 、セルサイズ:5.86×5.86μm、USB3.0 Super Speed 可視 (400~700nm) ガラス、SiC、フィルム、ミラー等、平面、凹凸面 (R20~R1,000) Z:±30mm XY:±24mm、α:±20°、β:±15° φ50mm、t=10mm

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使用用途

#半導体ウェハ #金属板材 #ガラス表面 #電子部品 #フィルム表面 #プラスチック成形品 #印刷物検査 #鉄鋼表面 #医療機器部品

検出原理

光学式 レーザー式

光学方式

2Dカメラ型 3Dカメラ型 共焦点顕微鏡型

搬送方式

ロール搬送型 ステージ移動型 インライン型 オフライン型

解像度 μm

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 40

検査速度 mm/秒

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000

光学分解能 μm

0 - 10 10 - 200

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

3.5時間

会社概要

[光ソリューション]その言葉は、シグマ光機には欠かせないものです。
研究開発から生産設備に至るまで、『光』をキーワードに解決する企業です。
シグマ光機は1977年の会社設立以来、レーザ用要素部品をはじめ、...

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  • 本社所在地: 埼玉県

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