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大型真空乾燥炉-株式会社シィアイテクノ

¥4,000,000 税抜

全型番で同じ値の指標

到達真空度

10Pa以下/5分以内 (排気能力16L/minのスクロールポンプ接続時)

ヒータ電源

AC100V、1kW

真空乾燥炉の設置スペース

約870 (W) ×640 (D) ×410 (H)

総重量

約250kg

この製品について

■概要

上扉の開閉補助装置 (キャップバランサー) を取付けた、JIS500Aサイズ等の大型真空乾燥炉を製作いたします。

■特徴

・JIS500Aサイズ (内径約φ500) の大型真空槽 (JIS300Aサイズでの対応も可) ・Φ300のSiウェハを搭載できるヒータテーブルを内装 ・約70kgの上扉を片手で操作できる開閉補助機構 (キャップバランサー) を搭載 ・乾燥温度100℃~200℃の加熱ヒータを内装 ・オプションで真空排気システムとの接続可 ・ICF70ポート (3か所) へ電流導入端子・リークバルブ等任意の真空部品を取付け可 ・通常納期は、ご注文後2.5~3か月

■参考価格帯 (税別)

1式、¥4,000,000~¥5,000,000

  • 型番

    大型真空乾燥炉

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大型真空乾燥炉 大型真空乾燥炉の性能表

商品画像 価格 (税抜) 到達真空度 ヒータ電源 真空乾燥炉の設置スペース 総重量
大型真空乾燥炉-品番-大型真空乾燥炉 ¥4,000,000 10Pa以下/5分以内 (排気能力16L/minのスクロールポンプ接続時) AC100V、1kW 約870 (W) ×640 (D) ×410 (H) 約250kg

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使用用途

#焼結 #ろう付け #焼鈍 #焼戻し #焼入れ #浸炭 #応力除去 #乾燥 #脱ガス #脱泡

加熱方式

抵抗加熱型 高周波加熱型 輻射加熱 直接通電 抵抗加熱

構造形式

横型炉 縦型炉 チャンバ型 バッチ型

真空到達度

低真空型 中真空型 高真空型

特殊機能

ガス置換型 急速昇降温型

最高温度 ℃

600 - 1,000 1,000 - 1,200 1,200 - 1,400 1,400 - 1,600 1,600 - 2,000 2,000 - 2,400

常用温度 ℃

500 - 600 600 - 800 800 - 1,000 1,000 - 1,200 1,200 - 1,400 1,400 - 1,600 1,600 - 2,000 2,000 - 2,200

到達真空度 Pa

0 - 0.1 0.1 - 10 10 - 100 100 - 150

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