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フォトマスク検査装置 微小寸法測定装置 Venus-株式会社エイチ・ティー・エル

この製品について

FPD用フォトマスクのCD (パターン寸法) を正確に測定。

■特長

・長期安定性と防振性に優れた高精度XYステージとリニアスケールによる正確なフィードバックシステムにより、良好な再現性を実現。 ・高解像度モノクロCCDカメラ (200万画素、1/1.8インチ) と高性能マイクロスコープにより鮮明な画像の取得が可能。 ・自動計測により、マスクのたわみや反りによる影響を受けず、オペレータによるばらつきのない、安定した測定結果を取得可能。

  • 型番

    Venus

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フォトマスク検査装置 微小寸法測定装置 Venus Venusの性能表

商品画像 価格 (税抜) 対応サイズ
フォトマスク検査装置 微小寸法測定装置 Venus-品番-Venus 要見積もり ≤ G10 (カスタマイズ可)

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使用用途

#欠陥検出 #ウェハ検査 #部品検査 #表面検査 #搬送収納 #高精度検査 #チップ検査 #2D3D測定

対応ウェーハサイズ mm

50 - 150 150 - 200 200 - 300

マシンサイクルタイム pcs/sec

1 - 5 5 - 10 10 - 15

画像処理部構成 台

2 - 4 4 - 8

処理時間 個/分

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 5,000

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社エイチ・ティー・エルは、半導体・液晶用関連装置を中心に、装置販売や装置用ソフトウエア開発を行う会社です。 1994年に東京都立川市で設立されました。プラズマ関連装置、光3Dプリンターなど各メーカー品の販売を行う...

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  • 本社所在地: 東京都

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