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フォトマスク検査装置 欠陥検査装置 Gemini-株式会社エイチ・ティー・エル

Gemini | フォトマスク検査装置 欠陥検査装置 Gemini
株式会社エイチ・ティー・エル

この製品について

AM-OLED用高精度大型フォトマスク・ハーフトーンマスク対応の最新モデル

■特長

・高速、高分解能、Die to Database、Die to Die検査 ・繰り返しパターンを必要としないコンタクトホール専用アルゴリズム ・強化された単純差分比較アルゴリズム ・検出欠陥の透過/反射イメージキャプチャーによる検査中レビュー機能 ・透過検査、反射検査の同時検査機能

  • 型番

    Gemini

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使用用途

#欠陥検出 #ウェハ検査 #部品検査 #表面検査 #搬送収納 #高精度検査 #チップ検査 #2D3D測定

対応ウェーハサイズ mm

50 - 150 150 - 200 200 - 300

マシンサイクルタイム pcs/sec

1 - 5 5 - 10 10 - 15

画像処理部構成 台

2 - 4 4 - 8

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株式会社エイチ・ティー・エル

会社概要

株式会社エイチ・ティー・エルは、半導体・液晶用関連装置を中心に、装置販売や装置用ソフトウエア開発を行う会社です。 1994年に東京都立川市で設立されました。プラズマ関連装置、光3Dプリンターなど各メーカー品の販売を行う...

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