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ピエゾステージ チルト (+Z) タイプ-THKプレシジョン株式会社

全型番で同じ値の指標

最大チルト角 移動量

・チルト ±400"秒≒0.11°≒1.9mrad ・昇降 100μm

分解能

・チルト 0.02"秒≒0.10μrad ・昇降 2nm

折り返し位置決め精度

・チルト ±0.02"秒≒±0.10μrad ・昇降 ±2nm

耐荷重

10N

共振周波数

・0g負荷時 270Hz ・100g負荷時 230Hz

内蔵変位センサ

静電容量式変位センサ

リニアリティ

0.2%

圧電素子静電容量

2.8μF

剛性

・チルト (θx,θy) 390"秒,320"秒/Nm ・昇降 (Z) 1.0μm/N

本体

・質量 1,200g ・材質 鋼 ・表面処理 無電解ニッケルメッキ

この製品について

ピエゾ駆動による回転や角度調整が行えます。 角度変位量はわずかながら、高速振動や角度分解能に優れ、光学デバイスの微小角アライメントや精密面合わせなどに最適です。

■弾性ヒンジ機構による回転案内

独自設計の弾性ヒンジ機構により、ピエゾ素子のわずかな伸縮を変位拡大するとともに安定した回転動作を支持しています。摩擦摩耗がないため滑らかで高速な動きに優れており、微小角の調整用途に適しています。

■製品応用例

・レーザ光軸調整 ・精密平行面合わせ ・光学デバイス微小角調整 ・チルト調整 ・キャビティ長調整

  • 型番

    PT3V80F-400S

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ピエゾステージ チルト (+Z) タイプ PT3V80F-400Sの性能表

商品画像 価格 (税抜) 最大チルト角 移動量 分解能 折り返し位置決め精度 耐荷重 共振周波数 内蔵変位センサ リニアリティ 圧電素子静電容量 剛性 本体
ピエゾステージ チルト (+Z) タイプ-品番-PT3V80F-400S 要見積もり ・チルト ±400"秒≒0.11°≒1.9mrad
・昇降 100μm
・チルト 0.02"秒≒0.10μrad
・昇降 2nm
・チルト ±0.02"秒≒±0.10μrad
・昇降 ±2nm
10N ・0g負荷時 270Hz
・100g負荷時 230Hz
静電容量式変位センサ 0.2% 2.8μF ・チルト (θx,θy) 390"秒,320"秒/Nm
・昇降 (Z) 1.0μm/N
・質量 1,200g
・材質 鋼
・表面処理 無電解ニッケルメッキ

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使用用途

#光学調整 #半導体検査 #計測装置 #精密加工 #研究開発 #組立工程

駆動方式

手動型 モータ駆動型 空圧駆動型 電磁駆動型

軸構成

単軸型 直交多軸型 同軸多軸型 傾斜回転型

回転機構

ウォームギア型 ダイレクトドライブ型 ベルト駆動型 摩擦駆動型

精度グレード

標準精度型 高精度型 超高精度型 自己位置検出型

回転範囲θZ °

0 - 200 200 - 360

最大角速度 °/秒

0 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 3,100

耐荷重 N

0 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 20,000 20,000 - 50,000 50,000 - 200,000

双方向繰り返し精度 µrad

0 - 10 10 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 1,500

駆動トルク N·m

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

動作電圧 V

20 - 30 30 - 40 40 - 50

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

THKプレシジョン株式会社は、2002年に設立された、産業用精密機械装置・機構の開発・製造を行う企業です。 圧電アクチュエータを利用した「超精密位置決め機器」を主力製品にもち、これはナノメートルオーダーでの高精度なポジ...

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  • 本社所在地: 東京都

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