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最大チルト角 移動量
・チルト ±400"秒≒0.11°≒1.9mrad ・昇降 100μm
分解能
・チルト 0.02"秒≒0.10μrad ・昇降 2nm
折り返し位置決め精度
・チルト ±0.02"秒≒±0.10μrad ・昇降 ±2nm
耐荷重
10N
共振周波数
・0g負荷時 270Hz ・100g負荷時 230Hz
内蔵変位センサ
静電容量式変位センサ
リニアリティ
0.2%
圧電素子静電容量
2.8μF
剛性
・チルト (θx,θy) 390"秒,320"秒/Nm ・昇降 (Z) 1.0μm/N
本体
・質量 1,200g ・材質 鋼 ・表面処理 無電解ニッケルメッキ
型番
PT3V80F-400Sシリーズ
ピエゾステージ チルト (+Z) タイプ取扱企業
THKプレシジョン株式会社カテゴリ
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回転ステージの製品264点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 最大チルト角 移動量 | 分解能 | 折り返し位置決め精度 | 耐荷重 | 共振周波数 | 内蔵変位センサ | リニアリティ | 圧電素子静電容量 | 剛性 | 本体 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり |
・チルト ±400"秒≒0.11°≒1.9mrad ・昇降 100μm |
・チルト 0.02"秒≒0.10μrad ・昇降 2nm |
・チルト ±0.02"秒≒±0.10μrad ・昇降 ±2nm |
10N |
・0g負荷時 270Hz ・100g負荷時 230Hz |
静電容量式変位センサ | 0.2% | 2.8μF |
・チルト (θx,θy) 390"秒,320"秒/Nm ・昇降 (Z) 1.0μm/N |
・質量 1,200g ・材質 鋼 ・表面処理 無電解ニッケルメッキ |
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使用用途が精密位置決めの製品
回転ステージをフィルターから探すことができます
使用用途
#光学調整 #半導体検査 #計測装置 #精密加工 #研究開発 #組立工程駆動方式
手動型 モータ駆動型 空圧駆動型 電磁駆動型軸構成
単軸型 直交多軸型 同軸多軸型 傾斜回転型回転機構
ウォームギア型 ダイレクトドライブ型 ベルト駆動型 摩擦駆動型精度グレード
標準精度型 高精度型 超高精度型 自己位置検出型回転範囲θZ °
0 - 200 200 - 360最大角速度 °/秒
0 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 3,100耐荷重 N
0 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 20,000 20,000 - 50,000 50,000 - 200,000双方向繰り返し精度 µrad
0 - 10 10 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 1,500駆動トルク N·m
0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5動作電圧 V
20 - 30 30 - 40 40 - 50
