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返答率
100.0%
返答時間
61.2時間
外形寸法
W745mm、D695mm、H1,445mm (蓋閉時、突起部含まず)
重量
約250kg
操作系
タッチパネル
処理圧力調整
APCによるプロセス圧力自動制御
処理量
80本 / バッチ (アイボーイ500mLボトル (直径75mm、高さ160mm) 使用時)
ガス導入
1系統、MFCによる流量自動制御
電源
13.56MHz max.1kW
型番
US-80A取扱企業
株式会社魁半導体カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 外形寸法 | 重量 | 操作系 | 処理圧力調整 | 処理量 | ガス導入 | 電源 |
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要見積もり | W745mm、D695mm、H1,445mm (蓋閉時、突起部含まず) | 約250kg | タッチパネル | APCによるプロセス圧力自動制御 | 80本 / バッチ (アイボーイ500mLボトル (直径75mm、高さ160mm) 使用時) | 1系統、MFCによる流量自動制御 | 13.56MHz max.1kW |
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