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大気圧 (リモート) スリット型大気圧プラズマ装置 S5000-BM-株式会社魁半導体

株式会社魁半導体の対応状況

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外形寸法

(コントロール部) 320mm (W) ×430mm (D) ×177mm (H) , (トーチ部) 70mm×30mm×70mm

出力調整

あり

使用ガス

N2・Ar・He

流量調整

あり

電源

100V (50Hz/60 Hz)

この製品について

■製品概要

・大気圧環境下で電荷のダメージがないプラズマを安定に生成 (コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではありません) ・絶縁物上の金属を破壊せずに処理が可能です。 ・熱によるダメージはほとんどありません。 (条件によってはサンプル表面が40℃程度まであがることもあります) ・窒素をプラズマ化 (ArやHeなどの高価なガス不要) ・大面積処理へも改良可能 ・メンテナンスも容易 ・ワイヤーボンディング : 強度の向上に最適 ・バイオ・医療分野にも

  • 型番

    S5000-BM

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大気圧 (リモート) スリット型大気圧プラズマ装置 S5000-BM S5000-BMの性能表

商品画像 価格 (税抜) 外形寸法 出力調整 使用ガス 流量調整 電源
大気圧 (リモート) スリット型大気圧プラズマ装置 S5000-BM-品番-S5000-BM 要見積もり (コントロール部) 320mm (W) ×430mm (D) ×177mm (H) , (トーチ部) 70mm×30mm×70mm あり N2・Ar・He あり 100V (50Hz/60 Hz)

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使用用途

#接着塗装前処理 #精密洗浄 #濡れ性制御 #粉体処理 #半導体製造 #バイオ医療 #機能性付与 #ワイヤーボンディング #金属薄膜処理 #ダイレクト接着 #ナノマテリアル #パネル処理

電源 V

100 - 150 200 - 250

消費電力 W

200 - 500 500 - 2,000 2,000 - 3,000

質量 kg

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 150

プロセスガス

アルゴン ヘリウム 空気 酸素 窒素

ガス流量 L/min

0.6 - 10 10 - 25 25 - 40 40 - 55 55 - 60

先端ノズル mm

1.6 5 20

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この商品の取り扱い会社情報

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48.8時間

会社概要

株式会社魁半導体は、プラズマによる材質の表面処理や洗浄などを用いた各種半導体製造装置を開発・製造・販売するメーカーです。 2002年に京都工芸繊維大学発ベンチャーとして学内で創業し、2007年に株式会社魁半導体を設立し...

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  • 本社所在地: 京都府

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