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超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に 液体用小流量用超音波流量計 UCUF-Mシリーズ-東京計装株式会社

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返答率

100.0%

返答時間

6.3時間

全型番で同じ値の指標

測定対象

液体全般 (気泡を含まない液体およびPFAを透過または浸食しないこと)

口径

2.5mm

流量レンジ

最大:0.025~0.1L/min 最小:0~0.025L/min

流体温度

10~90℃

流体圧力

0.5MPa max.

プロセス接続

PFAチューブエンド

測定精度

±1.0% (流速1m/s以上)

周囲温度

0~60℃

流体の音速

1,000~2,200m/s

流体の動粘度

0.8~40mm²/s

保護等級

IP65

設置場所

屋内

接続チューブサイズ

1/4"

材質 接液部

PFA

材質 センサキャップ

PP

材質 ケーブルフィッティング

PP

材質 ケーブルシース

PVC

材質 固定バンド

PP

専用ケーブル

同軸ケーブル2本付属、ケーブル長5m (最大30mまで延長ケーブルで対応可能)

コネクタ

SMB、BNC

対応変換器 形式

SFC-010L:デジタルゼロクロス方式 コネクタタイプ SMB

この製品について

■概要

UCUF-Mシリーズ液体用超音波流量計は超純水や各種薬液などの小流量計測用に設計された流量計で、UCUF-M形検出器と、SFC形変換器で構成されます。UCUF形検出器の接液部はすべて半導体産業向けPFAで構成され、稼動部がなく、液溜まりを生じやすいOリングなどの機械的シール部もありません。理想的なクリーン構造のため半導体装置などのクリーン度の要求されるプロセスに最適な流量計です。 SFC形変換器は、半導体プロセス、薬液プロセス等で問題であった流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減しています。各種薬液に対応するため流体動粘度影響をキャンセルする補正機能が搭載されています。DINレール取付タイプでは省スペース化に最適です。RS485通信機能によるプロセスの集中管理が可能です。

■特長

・EMC適合規格:EN61326-1 ・RoHS対応 ・接続チューブピッチ80mmに統一 ・動粘度40mm²/sまでの高粘度流体の測定が可能 ・精度は指示値の±1%以内 (流速1m/s以上において) ・広いレンジアビリディ (代表値100:1) ・理想的なクリーン構造の検出器 ・腐食に強く、取付けが容易

■主な用途

・半導体製造プロセスの純水、超純水の流量測定 ・各種薬液注入プロセスの流量測定 ・高腐食性液体の流量測定 ・CMPスラリー流量測定 ・その他、小~中口径プロセス液体流量測定 ・洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に最適

  • 型番

    UCUF-02M□-□□□

企業レビュー 4.5

Metoree経由で見積もり

2025年3月25日にレビュー済み

顧客対応への満足度

対応はが早かったについて丁寧にご対応いただき、大変助かりました。

初回対応までの時間への満足度

0.74時間

Metoree経由で見積もり

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顧客対応への満足度

迅速な返信、的確な質問と回答

初回対応までの時間への満足度

0.44時間


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超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に 液体用小流量用超音波流量計 UCUF-Mシリーズ UCUF-02M□-□□□の性能表

商品画像 価格 (税抜) 測定対象 口径 流量レンジ 流体温度 流体圧力 プロセス接続 測定精度 周囲温度 流体の音速 流体の動粘度 保護等級 設置場所 接続チューブサイズ 材質 接液部 材質 センサキャップ 材質 ケーブルフィッティング 材質 ケーブルシース 材質 固定バンド 専用ケーブル コネクタ 対応変換器 形式
超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に 液体用小流量用超音波流量計 UCUF-Mシリーズ-品番-UCUF-02M□-□□□ 要見積もり 液体全般 (気泡を含まない液体およびPFAを透過または浸食しないこと) 2.5mm 最大:0.025~0.1L/min
最小:0~0.025L/min
10~90℃ 0.5MPa max. PFAチューブエンド ±1.0% (流速1m/s以上) 0~60℃ 1,000~2,200m/s 0.8~40mm²/s IP65 屋内 1/4" PFA PP PP PVC PP 同軸ケーブル2本付属、ケーブル長5m (最大30mまで延長ケーブルで対応可能) SMB、BNC SFC-010L:デジタルゼロクロス方式
コネクタタイプ SMB

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使用用途

#積算 #半導体プロセス #高温流体 #冷却水監視 #防爆環境 #溶接 #燃費測定 #医療用途

口径 mm

5 - 20 20 - 50 50 - 150 150 - 600 600 - 6,000

精度 %FS

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5 5 - 6

使用圧力範囲 MPa

0 - 1 1 - 2

使用温度範囲 ℃

-60 - 0 0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 500

測定流体

液体 気体

電源電圧 VDC

0 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 40 40 - 50

保護等級 IP

IP54 IP64 IP65 IP66 IP67 IP68 IP69K IPX4

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


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6.3時間


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会社概要

東京計装株式会社は、1954年に設立された計測機器製造メーカーです。
東京都港区に本社を置き、大阪支店や名古屋営業所、北九州営業所などの国内拠点を設けるほか、中国・韓国やシンガポールなどに海外拠点を設けています。...

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  • 本社所在地: 東京都

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