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環境制御 X線光電子分光装置 EnviroESCA-株式会社東京インスツルメンツ

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エネルギー分析器

静電半球型エネルギー分析器 半径150 mm 差動排気レンズシステム、ディレライン検出器 最大400チャンネル

X線源

Al-Kα マイクロフォーカス・モノクロメータ ローランド円直径600 mm 測定位置でのスポットサイズ200µm~1mm (可変)

中和銃

低エネルギー電子銃 (差動排気仕様)

イオン銃

微小スポット・イオン銃 (走査可能、200eV~5keV) (差動排気仕様) クラスターガスイオンガン

排気システム

ターボ分子ポンプ オイルフリーポンプ 化学耐性ポンプシステム (オプション)

試料環境圧力

アナライザのアパーチャ径で調整 (直径300μmの時、最大圧力100mbar、他のアパーチャ径にも特注対応)

ガス導入システム

試料分析部分に2系統のガス導入 マスフローコントローラ

カメラ

試料観察用デジタル顕微鏡3台

自動制御/ソフトウェア

完全自動排気 ガス導入システム 最新のソフトウェアパッケージ

試料ステージ

高精度3軸ステージ

試料サイズ

直径 60mm 高さ 40mm

導入ガス

プロセス用 パージ用

試料クリーニング

ダウンストリームRFプラズマ

観察カメラ

デジタル顕微鏡

予備ポート

DN40CF (2,75”) X2 例) 電気配線、溶液導入

この製品について

■特長

・試料環境を低真空~高真空まで制御 ・固体から溶液、バイオ試料も測定可能 ・大型試料測定:最大Φ60 mm、高さ40 mm ・試料環境の制御 (雰囲気・温度) 、測定が全自動 ・簡単試料導入 ・全自動で試料搬送から測定までをバッチ処理 ・ロボットによる無人自動搬送・自動測定 ・ディレイライン検出器:最大400 ch ・グローブボックスと接続可能 ・オールインワン設計

■用途・アプリケーション

・Operando、In-situ 測定 ・液体分析 ・気液界面の化学反応分析 ・固液界面測定 ・触媒反応 ・金属の腐食反応 ・エネルギー材料とデバイス、動作中の電池反応 ・医療、生体適合材料 ・塗膜、メッキ膜 ・バイオサンプル ・土壌、鉱物 ・樹脂 ・セラミックス ・プラスチック ・宇宙科学、宇宙生物学 ・繊維、布 ・ナノマテリアル ・エレクトロニクス ・磁気記録媒体ほか

  • 型番

    EnviroESCA

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環境制御 X線光電子分光装置 EnviroESCA EnviroESCAの性能表

商品画像 価格 (税抜) エネルギー分析器 X線源 中和銃 イオン銃 排気システム 試料環境圧力 ガス導入システム カメラ 自動制御/ソフトウェア 試料ステージ 試料サイズ 導入ガス 試料クリーニング 観察カメラ 予備ポート
環境制御 X線光電子分光装置 EnviroESCA-品番-EnviroESCA 要見積もり 静電半球型エネルギー分析器 半径150 mm
差動排気レンズシステム、ディレライン検出器 最大400チャンネル
Al-Kα マイクロフォーカス・モノクロメータ
ローランド円直径600 mm
測定位置でのスポットサイズ200µm~1mm (可変)
低エネルギー電子銃 (差動排気仕様) 微小スポット・イオン銃 (走査可能、200eV~5keV) (差動排気仕様)
クラスターガスイオンガン
ターボ分子ポンプ
オイルフリーポンプ
化学耐性ポンプシステム (オプション)
アナライザのアパーチャ径で調整
(直径300μmの時、最大圧力100mbar、他のアパーチャ径にも特注対応)
試料分析部分に2系統のガス導入
マスフローコントローラ
試料観察用デジタル顕微鏡3台 完全自動排気
ガス導入システム
最新のソフトウェアパッケージ
高精度3軸ステージ 直径 60mm
高さ 40mm
プロセス用
パージ用
ダウンストリームRFプラズマ デジタル顕微鏡 DN40CF (2,75”) X2
例) 電気配線、溶液導入

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  • 本社所在地: 東京都

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