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100.0%
返答時間
21.0時間
自動ステージシステム部 移動方向
XY軸
自動ステージシステム部 移動量
100×100mm
自動ステージシステム部 試料台サイズ
120×120mm
自動ステージシステム部 ガイド方式
高剛性リニアボールガイド
自動ステージシステム部 送り方式
精密ボールねじ リード2mm
自動ステージシステム部 最小移動分解能
0.1μm (分割数40設定時)
自動ステージシステム部 位置決め精度
4μm (ストローク10mm時) 、18μm (フルストローク時)
自動ステージシステム部 繰返し位置決め精度
±1μm
自動ステージシステム部 バックラッシュ
2μm
自動ステージシステム部 ロストモーション
3μm
自動ステージシステム部 真直度 (水平・垂直)
2μm (ストローク30mm時) 、10μm (フルストローク時)
自動ステージシステム部 耐荷重
14kg
自動ステージシステム部 外形寸法
370×390×347 (H) mm
自動ステージシステム部 センサヘッド位置調整
ラックピニオン式Z軸手動ステージ
自動ステージシステム部 重量
約15kg
コントローラ部 位置決め制御
ドライバ内蔵型3軸コントローラ CP-700M
コントローラ部 変位センサデータ収集
AIO-163202FX-USB
レーザ変位センサ部 測定精度
測定分解能0.01μm、繰返し精度0.01μm ※本システムに搭載可能なレーザ変位センサ単体の精度例です。実際の精度はセンサの種類、設定、測定対象、使用環境等により異なります。
レーザ変位センサ部 測定領域
測定基準距離10mm、測定範囲±1mm ※本システムに搭載可能なレーザ変位センサ単体の精度例です。実際の精度はセンサの種類、設定、測定対象、使用環境等により異なります。
計測ソフトウェア部 型式
E-Measure3D
計測ソフトウェア部 対応機器
当社自動ステージシステム・コントローラ、アナログ電圧出力装備の変位センサ、PC (対応OS Windows10 日本語版)
計測ソフトウェア部 基本機能
XY軸自動ステージの位置決め、変位センサの形状データ収集を自動制御
計測ソフトウェア部 計測設定
等ピッチ (停止) 計測/等ピッチ (連続) 計測/複数領域測定
計測ソフトウェア部 機器設定
駆動詳細設定 (駆動速度、通信、表示) 、AD変換詳細設定 (収集データ1ch、電圧レンジ、電圧数値変換、符号、小数点)
計測ソフトウェア部 保存ファイル形式
TDV、emd
計測ソフトウェア部 データ変換
emdファイルをExcelコンバータによりExcel上に表示
解析ソフトウェア部 型式
3D Measurement
解析ソフトウェア部 対応機器
PC (対応OS Windows10 日本語版)
解析ソフトウェア部 表示
形状の3D・2Dグラフ表示及び数値解析
解析ソフトウェア部 基本プロファイル
高さ、幅、面積、対角、表面積、粗さRa、粗さRzjis、カットオフ値設定、粗さ曲線表示、うねり曲線表示、カーソル追従設定、傾き補正
型番
EMS-3D 100XY取扱企業
コムス株式会社カテゴリ
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3D形状測定機の製品116点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 自動ステージシステム部 移動方向 | 自動ステージシステム部 移動量 | 自動ステージシステム部 試料台サイズ | 自動ステージシステム部 ガイド方式 | 自動ステージシステム部 送り方式 | 自動ステージシステム部 最小移動分解能 | 自動ステージシステム部 位置決め精度 | 自動ステージシステム部 繰返し位置決め精度 | 自動ステージシステム部 バックラッシュ | 自動ステージシステム部 ロストモーション | 自動ステージシステム部 真直度 (水平・垂直) | 自動ステージシステム部 耐荷重 | 自動ステージシステム部 外形寸法 | 自動ステージシステム部 センサヘッド位置調整 | 自動ステージシステム部 重量 | コントローラ部 位置決め制御 | コントローラ部 変位センサデータ収集 | レーザ変位センサ部 測定精度 | レーザ変位センサ部 測定領域 | 計測ソフトウェア部 型式 | 計測ソフトウェア部 対応機器 | 計測ソフトウェア部 基本機能 | 計測ソフトウェア部 計測設定 | 計測ソフトウェア部 機器設定 | 計測ソフトウェア部 保存ファイル形式 | 計測ソフトウェア部 データ変換 | 解析ソフトウェア部 型式 | 解析ソフトウェア部 対応機器 | 解析ソフトウェア部 表示 | 解析ソフトウェア部 基本プロファイル |
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要見積もり | XY軸 | 100×100mm | 120×120mm | 高剛性リニアボールガイド | 精密ボールねじ リード2mm | 0.1μm (分割数40設定時) | 4μm (ストローク10mm時) 、18μm (フルストローク時) | ±1μm | 2μm | 3μm | 2μm (ストローク30mm時) 、10μm (フルストローク時) | 14kg | 370×390×347 (H) mm | ラックピニオン式Z軸手動ステージ | 約15kg | ドライバ内蔵型3軸コントローラ CP-700M | AIO-163202FX-USB |
測定分解能0.01μm、繰返し精度0.01μm ※本システムに搭載可能なレーザ変位センサ単体の精度例です。実際の精度はセンサの種類、設定、測定対象、使用環境等により異なります。 |
測定基準距離10mm、測定範囲±1mm ※本システムに搭載可能なレーザ変位センサ単体の精度例です。実際の精度はセンサの種類、設定、測定対象、使用環境等により異なります。 |
E-Measure3D | 当社自動ステージシステム・コントローラ、アナログ電圧出力装備の変位センサ、PC (対応OS Windows10 日本語版) | XY軸自動ステージの位置決め、変位センサの形状データ収集を自動制御 | 等ピッチ (停止) 計測/等ピッチ (連続) 計測/複数領域測定 | 駆動詳細設定 (駆動速度、通信、表示) 、AD変換詳細設定 (収集データ1ch、電圧レンジ、電圧数値変換、符号、小数点) | TDV、emd | emdファイルをExcelコンバータによりExcel上に表示 | 3D Measurement | PC (対応OS Windows10 日本語版) | 形状の3D・2Dグラフ表示及び数値解析 | 高さ、幅、面積、対角、表面積、粗さRa、粗さRzjis、カットオフ値設定、粗さ曲線表示、うねり曲線表示、カーソル追従設定、傾き補正 |
3D形状測定機の中でこの商品と同じ値をもつ製品
使用用途がパーツ測定の製品
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測定範囲 mm
0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 160,000 160,000 - 350,000精度 μm
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400測定速度 点/秒
0 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 3,000 3,000 - 10,000 10,000 - 100,000 100,000 - 1,000,000 1,000,000 - 2,000,000総重量 kg
0 - 100 100 - 1,000 1,000 - 4,000 4,000 - 8,000測定原理
ポイントオートフォーカス法 垂直⾛査⼲渉法
