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返答率
100.0%
返答時間
21.0時間
自動ステージシステム部 移動方向
XY軸
自動ステージシステム部 移動量
100×100mm
自動ステージシステム部 測定可能ウェハサイズ
2,3,4インチ
自動ステージシステム部 ガイド方式
リニアスライドガイド
自動ステージシステム部 送り方式
精密ボールねじ リード5mm
自動ステージシステム部 モータ
0.75A/相 5相ステッピングモータ
自動ステージシステム部 移動分解能
0.5μm (分割数：1/20設定時)
自動ステージシステム部 位置決め精度
15μm
自動ステージシステム部 繰返し位置決め精度
±1μm
自動ステージシステム部 バックラッシュ
1μm
自動ステージシステム部 ロストモーション
5μm
自動ステージシステム部 真直度 (水平・垂直)
10μm
自動ステージシステム部 平行度A
15μm
自動ステージシステム部 最大移動速度
30mm/sec
自動ステージシステム部 耐荷重
15kg
自動ステージシステム部 自重
92kg
レーザ変位センサ部 測定分解能
0.01μm ※システムに搭載可能なレーザー変位計単体の精度例です。実際の精度はレーザ変位計の種類、測定対象物、要求仕様等により異なります。
レーザ変位センサ部 繰り返し精度
0.01μm ※システムに搭載可能なレーザー変位計単体の精度例です。実際の精度はレーザ変位計の種類、測定対象物、要求仕様等により異なります。
レーザ変位センサ部 測定基準距離
10mm ※システムに搭載可能なレーザー変位計単体の精度例です。実際の精度はレーザ変位計の種類、測定対象物、要求仕様等により異なります。
レーザ変位センサ部 測定範囲
±1mm ※システムに搭載可能なレーザー変位計単体の精度例です。実際の精度はレーザ変位計の種類、測定対象物、要求仕様等により異なります。
レーザ変位センサ部 センサヘッド位置調整
マイクロメータヘッド付手動ステージ
コントローラ部 型式
CP-700M
コントローラ部 制御軸数
2軸
コントローラ部 最大駆動速度
4Mpps (高精度補間時：500kpps)
コントローラ部 最小駆動速度
1pps
コントローラ部 加減速時間
0~65,535msec
コントローラ部 分割数 (CP-D7使用時)
1~250分割 16段階切替
コントローラ部 インタフェイス
USB (ver1.1)
コントローラ部 入力電圧／消費電流
DC21.6~26.4V (DC24V±10%) ／0.5A
コントローラ部 最大消費電力
250VA (オプションACアダプタAD-100N使用時)
型番
WAP-100XYシリーズ
3次元測定器 ウエハ厚み測定システム取扱企業
コムス株式会社カテゴリ
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三次元測定機の製品140点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 自動ステージシステム部 移動方向 | 自動ステージシステム部 移動量 | 自動ステージシステム部 測定可能ウェハサイズ | 自動ステージシステム部 ガイド方式 | 自動ステージシステム部 送り方式 | 自動ステージシステム部 モータ | 自動ステージシステム部 移動分解能 | 自動ステージシステム部 位置決め精度 | 自動ステージシステム部 繰返し位置決め精度 | 自動ステージシステム部 バックラッシュ | 自動ステージシステム部 ロストモーション | 自動ステージシステム部 真直度 (水平・垂直) | 自動ステージシステム部 平行度A | 自動ステージシステム部 最大移動速度 | 自動ステージシステム部 耐荷重 | 自動ステージシステム部 自重 | レーザ変位センサ部 測定分解能 | レーザ変位センサ部 繰り返し精度 | レーザ変位センサ部 測定基準距離 | レーザ変位センサ部 測定範囲 | レーザ変位センサ部 センサヘッド位置調整 | コントローラ部 型式 | コントローラ部 制御軸数 | コントローラ部 最大駆動速度 | コントローラ部 最小駆動速度 | コントローラ部 加減速時間 | コントローラ部 分割数 (CP-D7使用時) | コントローラ部 インタフェイス | コントローラ部 入力電圧／消費電流 | コントローラ部 最大消費電力 |
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要見積もり | XY軸 | 100×100mm | 2,3,4インチ | リニアスライドガイド | 精密ボールねじ リード5mm | 0.75A/相 5相ステッピングモータ | 0.5μm (分割数：1/20設定時) | 15μm | ±1μm | 1μm | 5μm | 10μm | 15μm | 30mm/sec | 15kg | 92kg |
0.01μm ※システムに搭載可能なレーザー変位計単体の精度例です。実際の精度はレーザ変位計の種類、測定対象物、要求仕様等により異なります。 |
0.01μm ※システムに搭載可能なレーザー変位計単体の精度例です。実際の精度はレーザ変位計の種類、測定対象物、要求仕様等により異なります。 |
10mm ※システムに搭載可能なレーザー変位計単体の精度例です。実際の精度はレーザ変位計の種類、測定対象物、要求仕様等により異なります。 |
±1mm ※システムに搭載可能なレーザー変位計単体の精度例です。実際の精度はレーザ変位計の種類、測定対象物、要求仕様等により異なります。 |
マイクロメータヘッド付手動ステージ | CP-700M | 2軸 | 4Mpps (高精度補間時：500kpps) | 1pps | 0~65,535msec | 1~250分割 16段階切替 | USB (ver1.1) | DC21.6~26.4V (DC24V±10%) ／0.5A | 250VA (オプションACアダプタAD-100N使用時) |
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使用用途
#パーツ測定 #形状測定 #品質管理 #スキャニング #金型モールド測定 #リバースエンジニアリング #大型部品測定 #自動車関連測定 #航空宇宙関連測定 #厚み測定測定精度 秒
0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 5,000測定範囲 mm
0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,000 3,000 - 10,000分解能 μm
0 - 1 1 - 10 10 - 20 20 - 200 200 - 500測定速度 mm/s
0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 600重量 kg
0 - 1 1 - 5 5 - 15 15 - 50 50 - 150 150 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 5,000 5,000 - 16,000レーザークラス
1 2動作温度 ℃
-20 - 0 0 - 10 10 - 20 20 - 45 45 - 60
