ダイヤモンドコーティング装置 | 薄膜・表面改質技術＆装置ダイヤモンドコーティング装置
新明和工業株式会社

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返答率

100.0%

返答時間

160.0時間

全型番で同じ値の指標

方式

熱フィラメントCVD

装置寸法

L 2,480 x W 1,320 x H 2,240

チャンバ寸法

L 620 x W 600 x H 500

搭載可能サイズ

工具：⌀0.5 - ⌀20 L200 平板：⌀250 t30

基板材質

超硬・セラミックス・耐熱金属

コーティング長

50mm

電源

3相 200V 50kVA A種接地

冷却水

25L/min

ガス系統

CH4、H2、N2他ポート追加可能

装置質量

2,000 kg

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この製品について

■ダイヤモンドコーティングとはダイヤモンドは、現存する物質で最も硬い材料として、機械的、電気的、化学的、熱伝導特性において非常に優れた物質です。ダイヤモンドがコーティングとして提供できれば様々な分野で活用できるため、研究開発が進められております。

ダイヤモンドを合成する方法として、高温高圧法、熱フィラメントCVD法、マイクロ波プラズマCVD法などがあり、切削工具の耐摩耗性の向上や、電解電極の耐久性向上など優れた特性により今後も様々な応用が期待されています。

■ダイヤモンドコーティング装置について熱フィラメントCVD法を採用し、大面積にダイヤモンドを合成することが可能で、切削工具へのコーティングなど量産品への適用が可能です。独自技術により密着性を最適化し、導電性ダイヤモンドコーティングにも対応しております。装置販売および受託コーティングもお請けいたします。また、当社イオンエッチング技術を生かし、除膜～再コートといったリサイクル提案も可能です。

■アプリケーション・切削工具：CFRP加工、グラファイト加工、アルミ合金加工
・金型
・シール部品
・電解電極

型番
ダイヤモンドコーティング装置

シリーズ
薄膜・表面改質技術＆装置ダイヤモンドコーティング装置

取扱企業
新明和工業株式会社

カテゴリ

加工・工作機器

コーティング装置

半導体製造

CVD装置

加工・工作機器

表面改質装置

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薄膜・表面改質技術＆装置ダイヤモンドコーティング装置ダイヤモンドコーティング装置の性能表

商品画像	価格 (税抜)	方式	装置寸法	チャンバ寸法	搭載可能サイズ	基板材質	コーティング長	電源	冷却水	ガス系統	装置質量
	要見積もり	熱フィラメントCVD	L 2,480 x W 1,320 x H 2,240	L 620 x W 600 x H 500	工具：⌀0.5 - ⌀20 L200 平板：⌀250 t30	超硬・セラミックス・耐熱金属	50mm	3相 200V 50kVA A種接地	25L/min	CH4、H2、N2他ポート追加可能	2,000 kg