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返答率
100.0%
返答時間
15.7時間
マルチセンサー
画像 (タッチプローブ、レーザー、随時追装可)
Z軸 (高さ)
最大250mm
測定精度
XY軸:1.8~2.6+L/200~250、Z軸:2.0~2.3+L/150~200 (実力値は半分以下)
測定容積 (X,Y,Zmm)
315x315x160
測定重量
20kg
本体寸法 (LWH,mm)
718x1,084x1,029
本体重量
150kg
XY軸 精度 (μm)
2.6+L/200
Z軸 精度 (μm)
2.0+L/150
エンコーダ分解能
0.1μm
基本倍率
1x (LWD) /2x (SWD)
光学ズーム
6.5x
デジタルズーム
3x
綜合倍率
20x~390x/15x~540x
最大XY速度
250mm/s
最大Z速度
100mm/s
光源
落射照明 / 透過照明 / 同軸照明: 白色LEDカラーシステム (HC/UC) 、赤色LEDモノクロシステム (HM/UM) 、 マクロリングライト照明:40セグメント
型番
311 HC/HM取扱企業
イースタン電子工業株式会社カテゴリ
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平面度測定器の製品73点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 価格 (税抜) | マルチセンサー | Z軸 (高さ) | 測定精度 | 測定容積 (X,Y,Zmm) | 測定重量 | 本体寸法 (LWH,mm) | 本体重量 | XY軸 精度 (μm) | Z軸 精度 (μm) | エンコーダ分解能 | 基本倍率 | 光学ズーム | デジタルズーム | 綜合倍率 | 最大XY速度 | 最大Z速度 | 光源 |
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要見積もり | 画像 (タッチプローブ、レーザー、随時追装可) | 最大250mm | XY軸:1.8~2.6+L/200~250、Z軸:2.0~2.3+L/150~200 (実力値は半分以下) | 315x315x160 | 20kg | 718x1,084x1,029 | 150kg | 2.6+L/200 | 2.0+L/150 | 0.1μm | 1x (LWD) /2x (SWD) | 6.5x | 3x | 20x~390x/15x~540x | 250mm/s | 100mm/s | 落射照明 / 透過照明 / 同軸照明: 白色LEDカラーシステム (HC/UC) 、赤色LEDモノクロシステム (HM/UM) 、 マクロリングライト照明:40セグメント |
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使用用途
#研磨盤測定 #基板ウェハ測定 #形状測定 #供試体測定 #フィルム測定 #ガラス測定 #平行度測定 #真直度測定 #直角度測定 #微小形状測定精度 mm
0 - 0.01 0.01 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 1本体重量 kg
0 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 7,000 7,000 - 16,000分解能 μm
0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1電源 V
90 - 120 120 - 150 150 - 180 180 - 210 210 - 240 240 - 270