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ALA410 | 全自動マスクアライナー ALA410
株式会社三明

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露光光源

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露光解像度

・ソフトコンタクト L/S3μm ・ハードコンタクト L/S1μm

アライメント精度

Topーside ±1μm Bottom-side ±3μm

サイズ

4in

装置寸法

2,100 (H) ×1,300 (W) ×1,500 (D) mm 自立型

重量

900kg

この製品について

量産工程用 全自動露光装置

■特徴

・高い汎用性 (〇型 □型 試料対応) ・信頼性の高い球面軸受 平行機構 ・シンプル構造で低価格を実現

  • 型番

    ALA410

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2024年10月3日にレビュー済み

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全自動マスクアライナー ALA410 ALA410の性能表

商品画像 価格 (税抜) 露光光源 露光解像度 アライメント精度 サイズ 装置寸法 重量
要見積もり 照度分布±5%以内 ・ソフトコンタクト L/S3μm
・ハードコンタクト L/S1μm 		Topーside ±1μm
Bottom-side ±3μm 		4in 2,100 (H) ×1,300 (W) ×1,500 (D) mm
自立型 		900kg

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露光解像度 μm

0 - 0.1 0.1 - 0.5 0.5 - 1 1 - 5 5 - 15

露光モード

ソフトコンタクト プロキシミティ

アライメント精度 µm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3

露光時間 秒

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会社概要

株式会社三明は、三明電子産業株式会社、三明機工株式会社を含む三明グループの営業、企画および資本を統括するホールディングカンパニーです。 株式会社安川電機の機械工業用ロボットやコントローラーを取り扱っている他、三明オリジ...

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  • 本社所在地: 静岡県

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