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返答率
100.0%
返答時間
63.6時間
流量
3 sccm F.S ~ 50 slm N2換算
精度
±1% S.P. (35 ~ 100%FS) ±0.35% F.S. (2 ~ 35%FS)
繰り返し性と再現性
< ±0.15%R.D.
周囲温度範囲
10 ~ 50℃
応答性
1s以下
外部リークレート
1×10^-12 Pa・m^3 /s (He) 以下
表面粗度
0.25μm
I / O
0~5 Vdc / RS485 / DeviceNet
Multi-Flo
オプション
PTI
未対応
型番
GF100取扱企業
株式会社リガルジョイントカテゴリ
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調節計の製品406点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 流量 | 精度 | 繰り返し性と再現性 | 周囲温度範囲 | 応答性 | 外部リークレート | 表面粗度 | I / O | Multi-Flo | PTI |
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要見積もり | 3 sccm F.S ~ 50 slm N2換算 |
±1% S.P. (35 ~ 100%FS) ±0.35% F.S. (2 ~ 35%FS) |
< ±0.15%R.D. | 10 ~ 50℃ | 1s以下 | 1×10^-12 Pa・m^3 /s (He) 以下 | 0.25μm | 0~5 Vdc / RS485 / DeviceNet | オプション | 未対応 |
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使用用途
#エネルギー設備 #コーティング #バイオ医薬研究 #研究開発 #製造装置 #排水処理 #半導体製造 #薬液管理制御方式
PID制御型 ONOFF制御型 比例制御型 自己学習型表示機能
デジタル表示型 アナログ表示型構成形態
一体型 分離型入出力方式
リレー出力型 電圧出力型 電流出力型 SSR出力型入力レンジ ℃
0 - 200 200 - 1,800制御動作
AT付PID動作 ブリリアントⅡPID制御 エキスパートPID ON/OFF制御 PID動作 PD動作サンプリング周期
0.02 0.05 0.1 0.25 0.5信号源抵抗の影響
0.18 0.2 0.25
