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返答率
100.0%
返答時間
108.2時間
流量 コントローラ
3 sccm F.S ~ 50 slm N2換算
流量 メーター
3 sccm F.S ~ 50 slm N2換算
精度
±1% S.P. (35 ~ 100%FS) ±0.35% F.S. (2 ~ 35%FS)
再現性
< ±0.2% S.P.
周囲温度範囲
5 ~ 50℃
外部リークレート
GF40 1×10^-10 PA・m^3 /s He GF80 1×10^-11 PA・m^3 /s He
I / O
0 ~ 5 VDC、4 ~ 20 mA、0 ~ 20 mA
型番
GF40取扱企業
株式会社リガルジョイントカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 流量 コントローラ | 流量 メーター | 精度 | 再現性 | 周囲温度範囲 | 外部リークレート | I / O |
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要見積もり | 3 sccm F.S ~ 50 slm N2換算 | 3 sccm F.S ~ 50 slm N2換算 |
±1% S.P. (35 ~ 100%FS) ±0.35% F.S. (2 ~ 35%FS) |
< ±0.2% S.P. | 5 ~ 50℃ |
GF40 1×10^-10 PA・m^3 /s He GF80 1×10^-11 PA・m^3 /s He |
0 ~ 5 VDC、4 ~ 20 mA、0 ~ 20 mA |
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