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100.0%
返答時間
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最大基板
260mmx510mm
基板厚
0.05mm-2mm
最小線幅最小線間
20um/20um (≤15um膜厚)
量産線幅量産線間
25um/25um (≤15um膜厚)
解像度
14,000dpi
解析精度
±2.0um
線幅均一性
±10%
位置精度
±10.0um
速度250mmX420mm
20mj/cm29-10面/分 (線幅線間隔>40um) 60mj/cm28-9面/分 (線幅線間隔>30um)
型番
LEAR-F25A2-L2S5A20取扱企業
KnK株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 最大基板 | 基板厚 | 最小線幅最小線間 | 量産線幅量産線間 | 解像度 | 解析精度 | 線幅均一性 | 位置精度 | 速度250mmX420mm |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | 260mmx510mm | 0.05mm-2mm | 20um/20um (≤15um膜厚) | 25um/25um (≤15um膜厚) | 14,000dpi | ±2.0um | ±10% | ±10.0um |
20mj/cm29-10面/分 (線幅線間隔>40um) 60mj/cm28-9面/分 (線幅線間隔>30um) |
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