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返答率
100.0%
返答時間
87.5時間
対応口径
160~350A
Heリーク量 (シール部材質 FKMの場合)
弁体部：1.3×10-^10[Pa・m^3/s] 外部 (本体) ：4.0×10-^10[Pa・m^3/s]
使用温度
90℃ (駆動部：60℃)
操作圧力
電動
保証期間
12ヶ月
バルブ寿命
開閉：20万回 (全閉しない場合の寿命は100万回です。)
開閉時間
1.0-3.0s
材質
本体：アルミニウム A5052 弁体：アルミニウム A5052 シール材：FKM
制御ユニット
当社製コントローラー
型番
APC取扱企業
株式会社ブイテックスカテゴリ
| 商品画像 | 価格 (税抜) | 対応口径 | Heリーク量 (シール部材質 FKMの場合) | 使用温度 | 操作圧力 | 保証期間 | バルブ寿命 | 開閉時間 | 材質 | 制御ユニット | オプション |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | 160~350A |
弁体部：1.3×10-^10[Pa・m^3/s] 外部 (本体) ：4.0×10-^10[Pa・m^3/s] |
90℃ (駆動部：60℃) | 電動 | 12ヶ月 |
開閉：20万回 (全閉しない場合の寿命は100万回です。) |
1.0-3.0s |
本体：アルミニウム A5052 弁体：アルミニウム A5052 シール材：FKM |
当社製コントローラー |
シール材質の変更 |
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返答率96%
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真空ゲートバルブをフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体製造 #大型ディスプレイ製造 #排気制御 #圧力調整 #ワーク搬送駆動方式
手動型 空圧型 電動型構造形式
スロット型 ラウンド型シール方式
メタルシール型 エラストマーシール型 ハイブリッドシール型呼び口径 mm
100 - 125 125 - 150 150 - 350 350 - 400ベーキング許容温度 ℃
0 - 80 80 - 120 120 - 150 150 - 200バルブ寿命 回
0 - 100,000 100,000 - 200,000 200,000 - 500,000 500,000 - 1,000,000 1,000,000 - 3,000,000使用温度 ℃
-50 - 0 0 - 50 50 - 80 80 - 100 100 - 150開放コンダクタンス L/s
0 - 100 100 - 10,000 10,000 - 50,000
