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搭載ディスペンサー

ツインエア式ディスペンサー、ピエゾジェットディスペンサー

XYストローク

300x300mm

XY最大速度

50mm/s

Z最大速度

50mm/s

XYZ繰返し位置決め精度

±2μm

XYZ駆動分解能

1μm

有効塗布エリア

300x300mm

搭載機器

トップビューカメラ、レーザー変位計、真空吸着ステージ、インターロック機構

画像ソフトウェア機能

描画データ作成、オートアライメント、DXFインポート機能

自動搬送ユニット

対応可

電源

三相200Vx4kVA

エアー源

クリーンドライエア0.5~0.7Mpax30NL/min

装置サイズ

W900xD1,050xH1,600mm

重量

1000kg以下

この製品について

■商品概要

高精細塗布装置 ESシリーズは、繰返し位置決め精度±2μm以下のX-Yステージを搭載した高精度仕様で、ウェハへのパターニング等、高精細塗布に最適なモデルです。 ツインエア式ディスペサー (フルファンクション) を標準搭載しており、トップビューカメラとサイドビューカメラにより、条件出しやモニタリング、検査等を容易に実施することができるため、微細なパターンニングを実現することができます。 ワークサイズに応じて、3種類の型式 (ES10, ES12, ES30) をラインナップしており、ES30は8インチウェハに対応しており、自動ウェハ搬送ユニットと接続することも可能です。クリーンルーム仕様、FFU、ウェハ対応吸着ステージ等、半導体業界に適合したオプション仕様も充実しています。

  • 型番

    ES30

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高精細塗布装置 ES30 ES30の性能表

商品画像 価格 (税抜) 搭載ディスペンサー XYストローク XY最大速度 Z最大速度 XYZ繰返し位置決め精度 XYZ駆動分解能 有効塗布エリア 搭載機器 画像ソフトウェア機能 自動搬送ユニット 電源 エアー源 装置サイズ 重量 オプション
要見積もり ツインエア式ディスペンサー、ピエゾジェットディスペンサー 300x300mm 50mm/s 50mm/s ±2μm 1μm 300x300mm トップビューカメラ、レーザー変位計、真空吸着ステージ、インターロック機構 描画データ作成、オートアライメント、DXFインポート機能 対応可 三相200Vx4kVA クリーンドライエア0.5~0.7Mpax30NL/min W900xD1,050xH1,600mm 1000kg以下

サイドビューカメラ、ノズル洗浄ユニット、ノズル先端位置検出ユニット、真空ポンプ、FFU


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使用用途

#電子部品製造 #フラットパネル製造 #半導体パッケージング #医薬品製造 #自動車部品加工 #電池製造 #接着剤塗布 #コーティング試験 #印刷工程 #光学部品加工

塗布方式

スプレー型 ディスペンス型 ロールコート型 スリットダイ型 スリットコータ グラビア コンマ スロットダイ ミニスロットダイ ロールコーター バーコーター スプレー スイング ニードル転写 駆動パルス メカニカルポンプ

駆動機構

空圧駆動型 電動駆動型 ピエゾ駆動型 サーボ駆動型

制御方式

定量制御型 開閉制御型 フィードバック制御型 PTP/CP制御 乾燥炉2連 乾燥炉3連 エレクトロ/ニューマティック マイコン制御

特殊機能

加熱対応型 真空対応型 多液対応型 ノンコンタクト型

対応粘度 mPa・s

1 - 100 100 - 1,000 1,000 - 3,000 3,000 - 10,000 10,000 - 20,000 20,000 - 100,000 100,000 - 200,000 200,000 - 500,000

塗布速度 mm/s

1 - 10 10 - 100 100 - 300 300 - 800

塗布幅 mm

0 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 1,000

位置決め精度 mm

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 0.5

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

エンジニアリング・ラボは微細塗布のプロフェッショナルとして、精密塗布装置の開発、製造、販売を行っています。世界最小塗布を実現する、特許技術を使った「ツインエア式ディスペンサー」、高速精密塗布を誇るピエゾジェットディスペン...

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  • 本社所在地: 東京都

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