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分析・計測機器 表面分析装置 イオン銃/電子分光器 (CMA) FIG-5 パッケージ-アルバック販売株式会社

アルバック販売株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

168.8時間

全型番で同じ値の指標

イオン銃 加速電圧 (kV)

0~5

イオン銃 最大ビーム電流 (μ)

10以上 (@5kV)

イオン銃 低速ビーム電流 (nA)

12 (@10eV)

イオン銃 最大ビーム電流密度 (mA/cm2)

2以上

イオン銃 最小ビーム径 (μm)

200以下

イオン銃 ビーム偏向 (mm)

機械的:± 5、静電的:± 3

イオン銃 ラスター範囲 (mm)

最大10×10

イオン銃 ソースタイプ

電子衝撃式

イオン銃 フィラメント交換

450時間使用毎

イオン銃 差動圧

10000:1

イオン銃 動作距離 (mm)

30~70

コントロール 加速電圧 (kV)

0~5

コントロール フロート電圧 (V)

0~500

コントロール 外部制御

加速電圧ON/OFF、ラスタ制御

コントロール 寸法 (W×H×D) (mm)

482×176×375

コントロール 電力

AC100/115V 1.5A

コントロール 質量 (kg)

18.2

この製品について

■概要

本イオン銃は、ICF70取付のコンパクトなイオン銃でありながら、最大10 μAのビーム電流、150 μm以下のビーム径、2 mA/cm2以上の最大電流密度を実現した画期的なイオン銃です。さらにフローティング機構を搭載しているため低速イオンビームを高輝度で得られるようになりました。

■特長

・フルベーカブルな構造により超高真空に対応します。 ・高イオン電流密度 (>2 mA/cm2 5 kV) により高速スパッタエッチングが可能です。 ・イオンビーム径を150 μm以下 (5 kV) まで絞ることが可能です。 ・フローティングレンズ搭載により、超低エネルギー (10eV) から5keVまでのイオンビームの利用が可能になりました。 ・差動排気を行った場合、イオン照射中でも装置内の圧力を超高真空に保つことが可能です。 ・フィラメントのアセンブリ化により、フィラメント交換が容易になりました。 ・外部制御により、加速電圧のON/OFFおよびラスター制御 (X/Y独立 0-10 V) が可能です。

  • 型番

    FIG-5

企業レビュー 4.8

Metoree経由で見積もり

2025年8月7日にレビュー済み

顧客対応への満足度

フォームを経由し、非常にわかりやすくスムーズなお問い合わせのご対応をいただけました。誠にありがとうございます。

初回対応までの時間への満足度

1.11時間

Metoree経由で見積もり

2025年7月28日にレビュー済み

顧客対応への満足度

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初回対応までの時間への満足度

69.57時間


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分析・計測機器 表面分析装置 イオン銃/電子分光器 (CMA) FIG-5 パッケージ FIG-5の性能表

商品画像 価格 (税抜) イオン銃 加速電圧 (kV) イオン銃 最大ビーム電流 (μ) イオン銃 低速ビーム電流 (nA) イオン銃 最大ビーム電流密度 (mA/cm2) イオン銃 最小ビーム径 (μm) イオン銃 ビーム偏向 (mm) イオン銃 ラスター範囲 (mm) イオン銃 ソースタイプ イオン銃 フィラメント交換 イオン銃 差動圧 イオン銃 動作距離 (mm) コントロール 加速電圧 (kV) コントロール フロート電圧 (V) コントロール 外部制御 コントロール 寸法 (W×H×D) (mm) コントロール 電力 コントロール 質量 (kg)
分析・計測機器 表面分析装置 イオン銃/電子分光器 (CMA) FIG-5 パッケージ-品番-FIG-5 要見積もり 0~5 10以上 (@5kV) 12 (@10eV) 2以上 200以下 機械的:± 5、静電的:± 3 最大10×10 電子衝撃式 450時間使用毎 10000:1 30~70 0~5 0~500 加速電圧ON/OFF、ラスタ制御 482×176×375 AC100/115V 1.5A 18.2

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使用用途

#プラズマ分光 #ラマン分析測定 #蛍光測定 #研究開発 #顕微計測 #光源特性評価 #材料評価 #品質管理検査

分散方式

プリズム型 回折格子型 フィルター型

動作方式

単色型 多波長型 走査型

検出方式

フォトダイオード型 CCD型 フォトマル型

波長領域

紫外可視型 近赤外型 中赤外型

波長分解能 nm

0 - 1 1 - 4 4 - 10

焦点距離 mm

0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800

スリット幅 µm

10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 3,000

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

168.8時間


企業レビュー

4.8

会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都

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