AccuFiz-E | Fizeauタイプ汎用レーザ干渉計
株式会社アイ・アール・システム

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100.0%

返答時間

59.1時間

全型番で同じ値の指標

測定原理

ピエゾ式時間位相シフト (TPS) 方式Fizeau干渉法、Spatial-Career Fizeau干渉法 (Tilted-Beam)

光源

非安定化He-Ne、633nm ※安定化モデル (Sモデルあり)

測定口径

4inモデル、6inモデル

測定許容反射率

1-100％

カメラ仕様

12-bit、1.44Mpix可視カメラ ※廉価版600×600モデル (Bモデル) あり

ズーム

電動ズーム6倍 ※Continuous Zoom

PC要件

Windows 7 Pro以降 (32ビット機) 、CPU：Dual Core 2GHz以上、メモリ4GB以上 ※PCは通常、購入時に付属

画像取得フレームレート

> 30fps

最小露光時間

< 30usec

RMS再現性

< 0.0002 λ (λ/5,000) ※標準精度モード。精度向上モード時 λ/12,500以下

RMS測定精度

< 0.05 λ (λ/20) ※未較正状態

本体寸法

L50cm × W24cm × H20cm ※脚、その他付属品を除く

本体重量

約14kg以下 ※脚、その他付属品を除く

使用環境

20 +/- 5℃ (15~25℃) 、結露なきこと ※保管環境：0~36℃、結露なきこと

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この製品について

精密な波面の計測に、経時変化も一緒に取り込んでしまうピエゾ式参照面スキャンではなく、複数位相を同時に計測することで経時的スキャンを省いたSpatial Carrier Fringe方式に依る高速撮像を採用し、耐震性能や空気撹乱耐性などを向上したFizeau型の干渉計です。 (但し、ピエゾ式への計測モード変更も可能) 小型で軽量であり測定姿勢を問いませんので、様々な用途・環境への汎用性が高く、多目的にお使いいただけます。

■特長・従来の一般的な参照面を駆動させるFizeau干渉計測 (TPSI) と、動的環境でも計測できる瞬時Fizeau干渉計測 (DPSI) のいずれかを計測毎に選択可能
・本体と制御用PCとがEthernetケーブル接続なので、最大100mまでの遠隔操作が可能
・標準的なFizeau参照レンズの接続互換もあるので、既存の光学系をそのまま流用可能
・また他干渉計ソフトウェアや光学設計ソフトウェアとの互換性も保持
・可搬性重視のため様々な姿勢や環境へ適応性が幅広い

■用途・測定条件などを最適化出来ない環境で干渉計測を行いたい研究者・品質管理部門など
・測定対象が多岐で、固定位置での測定ではなく様々なところへ出向いて測定しなくてはならない職務の人へ
・旧い計測システムを新しいものに変えようと思っている工場など
・既存の加工機械、検査機械、測定ラインなどへの導入
・対象を測定する際に、様々な姿勢に調整しなくてはならないような環境へ

仕様
■ソフトウェア概要・測定・制御用ソフトウェア『4Sight』
・Zemike/Seidel/Slope/Geometric/Fourier解析オプション
・差分、平均化、Burst測定、マスキング、2D/3D表示
・各種光学設計・干渉計ソフトデータのI/Oが可能

型番
AccuFiz-E

シリーズ
Fizeauタイプ汎用レーザ干渉計

取扱企業
株式会社アイ・アール・システム

カテゴリ

測定機器

レーザー干渉計

測定機器

干渉計

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Fizeauタイプ汎用レーザ干渉計 AccuFiz-Eの性能表

商品画像	価格 (税抜)	測定原理	光源	測定口径	測定許容反射率	カメラ仕様	ズーム	PC要件	画像取得フレームレート	最小露光時間	RMS再現性	RMS測定精度	本体寸法	本体重量	使用環境	概要
	要見積もり	ピエゾ式時間位相シフト (TPS) 方式Fizeau干渉法、Spatial-Career Fizeau干渉法 (Tilted-Beam)	非安定化He-Ne、633nm ※安定化モデル (Sモデルあり)	4inモデル、6inモデル	1-100％	12-bit、1.44Mpix可視カメラ ※廉価版600×600モデル (Bモデル) あり	電動ズーム6倍 ※Continuous Zoom	Windows 7 Pro以降 (32ビット機) 、CPU：Dual Core 2GHz以上、メモリ4GB以上 ※PCは通常、購入時に付属	> 30fps	< 30usec	< 0.0002 λ (λ/5,000) ※標準精度モード。精度向上モード時 λ/12,500以下	< 0.05 λ (λ/20) ※未較正状態	L50cm × W24cm × H20cm ※脚、その他付属品を除く	約14kg以下 ※脚、その他付属品を除く	20 +/- 5℃ (15~25℃) 、結露なきこと ※保管環境：0~36℃、結露なきこと	小型Fizeau型干渉計 ※計測毎に測定モード選択可