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半導体露光装置 | 光学製品 アプリケーション 半導体露光装置 (ステッパー)
日本電波工業株式会社

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この製品について

■製品の特長

・使用される光学製品 水晶波長板 ・弊社独自の高純度人工水晶を使用することで、波長193nmなどの真空紫外領域も高い透過率を保証いたします。 ・弊社独自の高純度人工水晶を使用することで、高いレーザー耐久性・長寿命をお約束いたします。

  • 型番

    半導体露光装置

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FPD露光装置

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使用用途

#半導体製造 #微細加工 #フォトリソグラフィ #研究開発 #MEMS #バイオテクノロジー #3次元露光 #水晶発振子製造 #タッチパネル #ディスプレイ

露光方式

マスク露光型 スキャン露光型 マスクレス露光型

光源種類

水銀ランプ型 エキシマレーザー型 LED光源型

解像方式

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会社概要

日本電波工業は1948年の創業以来、周波数の制御と選択、検出をつかさどる水晶デバイス専業メーカーとして、水晶振動子・水晶発振器等の水晶デバイス、人工水晶等の水晶関連製品の開発から販売までを主な事業とする、水晶デバイスの製...

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