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返答率
100.0%
返答時間
206.6時間
解像力
≦150nm
NA (開口数)
0.65~0.50 (自動可変)
縮小比
1:5
画面サイズ
22mm×22mm
焼付け波長
KrF248nm
レチクルサイズ
6inch
ウエハーサイズ
100mm (4inch) /125mm (5inch) /150mm (6inch) /200mm (8inch) (選択)
重ね合わせ精度
≦25nm
主要オプション
特殊基板対応搬送系 PCリモートコンソール GEM対応オンラインソフト ペリクル検査装置
型番
FPA-3030EX6取扱企業
キヤノン電子株式会社カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 解像力 | NA (開口数) | 縮小比 | 画面サイズ | 焼付け波長 | レチクルサイズ | ウエハーサイズ | 重ね合わせ精度 | 主要オプション |
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要見積もり | ≦150nm | 0.65~0.50 (自動可変) | 1:5 | 22mm×22mm | KrF248nm | 6inch | 100mm (4inch) /125mm (5inch) /150mm (6inch) /200mm (8inch) (選択) | ≦25nm |
特殊基板対応搬送系 PCリモートコンソール GEM対応オンラインソフト ペリクル検査装置 |