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半導体露光装置 IoT関連デバイス向けKrFステッパー-キヤノン電子株式会社

キヤノン電子株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

206.6時間

全型番で同じ値の指標

解像力

≦150nm

NA (開口数)

0.65~0.50 (自動可変)

縮小比

1:5

画面サイズ

22mm×22mm

焼付け波長

KrF248nm

レチクルサイズ

6inch

ウエハーサイズ

100mm (4inch) /125mm (5inch) /150mm (6inch) /200mm (8inch) (選択)

重ね合わせ精度

≦25nm

主要オプション

特殊基板対応搬送系 PCリモートコンソール GEM対応オンラインソフト ペリクル検査装置

この製品について

特長

■多様な特殊基板・小型基板に対応

実績のあるi線ステッパー「FPA-3030i5+」と共通のウエハー搬送システムを搭載し、IoT関連デバイスやパワーデバイスの製造に用いられるさまざまな材質、径、厚さの基板の搬送に対応します。

■KrFエキシマレーザーステッパーとして最高水準の性能を実現

従来機種「FPA-3000EX6」の性能を踏襲し、同等クラスのKrFエキシマレーザーステッパーとして最高水準の解像力150nm、重ね合わせ精度25nm以下、生産性 (処理能力) 毎時121枚以上※を実現します。

  • 型番

    FPA-3030EX6

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半導体露光装置 IoT関連デバイス向けKrFステッパー FPA-3030EX6の性能表

商品画像 価格 (税抜) 解像力 NA (開口数) 縮小比 画面サイズ 焼付け波長 レチクルサイズ ウエハーサイズ 重ね合わせ精度 主要オプション
半導体露光装置 IoT関連デバイス向けKrFステッパー-品番-FPA-3030EX6 要見積もり ≦150nm 0.65~0.50 (自動可変) 1:5 22mm×22mm KrF248nm 6inch 100mm (4inch) /125mm (5inch) /150mm (6inch) /200mm (8inch) (選択) ≦25nm 特殊基板対応搬送系
PCリモートコンソール
GEM対応オンラインソフト
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この商品の取り扱い会社情報

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206.6時間

会社概要

キヤノン電子株式会社は本社を埼玉県秩父市に構え、精密機械器具や電子・電気機械器具などの開発・生産を事業内容とする企業である。 1954年に株式会社秩父英工舎を設立。その後、1964年に現在の「キヤノン電子株式会社」へ商...

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  • 本社所在地: 埼玉県

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