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分光計測 真空紫外から深紫外までの透過、反射、散乱、吸収測定用システム 波長範囲:120~350nm 真空紫外分光光度計 VUVASシリーズ-株式会社東京インスツルメンツ

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返答率

100.0%

返答時間

23.3時間

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測定波長領域

120~350 nm

真空度

10^-4 Torr

窒素パージシステム

オプション

精度 (RSD、@157nm)

0.25%

精度 (RSD、全体)

<0.5%

安定性 (1時間あたり)

<1%

バンドパス

1~8 nm

波長校正精度

0.1 nm

波長繰返し精度

0.05 nm

ステップ幅

0.00006 nm

検出器設置角度 (可変)

10~180°

サンプル設置角度 (可変)

0~60°

この製品について

■製品概要

VUVASシリーズ真空紫外分光光度計は真空もしくは窒素パージ中で、光学素子、コーティング、フォトレジスト材料、基板などの反射・透過特性測定をおこなうシステムで、分光器、MgF2窓付重水素光源、集光光学系、試料室、検出器から構成されています。 高品質の光学部品による高いスループットは、優れた再現性と高い信号レベルを達成し、高S/N比で測定がおこなえます。

■特長

・対応波長領域:120~350 nm ・精度:0.05% (@157 nm) ・真空度:10^-6 Torr ・窒素パージでの使用可能 ・リファレンス用、サンプル測定用の2つの検出器搭載 (VUVAS2000) ・フィルターホールも装着可能

  • 型番

    VUVAS1000

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分光計測 真空紫外から深紫外までの透過、反射、散乱、吸収測定用システム 波長範囲:120~350nm 真空紫外分光光度計 VUVASシリーズ VUVAS1000の性能表

商品画像 価格 (税抜) 測定波長領域 真空度 窒素パージシステム 精度 (RSD、@157nm) 精度 (RSD、全体) 安定性 (1時間あたり) バンドパス 波長校正精度 波長繰返し精度 ステップ幅 検出器設置角度 (可変) サンプル設置角度 (可変)
分光計測 真空紫外から深紫外までの透過、反射、散乱、吸収測定用システム 波長範囲:120~350nm 真空紫外分光光度計 VUVASシリーズ-品番-VUVAS1000 要見積もり 120~350 nm 10^-4 Torr オプション 0.25% <0.5% <1% 1~8 nm 0.1 nm 0.05 nm 0.00006 nm 10~180° 0~60°

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使用用途

#分析同定 #監視モニタリング #研究開発 #品質管理 #濃度測定 #透過率測定 #反射率測定

波長範囲 nm

100 - 300 300 - 400 400 - 700 700 - 1,000 1,000 - 2,000

測定波長範囲 nm

200 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000

バンド幅 nm

0 - 2 2 - 4 4 - 6 6 - 10

測光範囲 Abs

-3 - -1 -1 - 0 0 - 3

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この商品の取り扱い会社情報

  • 本社所在地: 東京都

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