産用 Model6020 | 大型基板向け自動マスクアライナー量産用 Model6020
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基板対応サイズ

12インチ角 – 20インチ角まで

マスク対応サイズ

14インチ角 – 24インチ角まで

アライメントステージコントロール

Z動作 : 1,500µm

アライメント精度

片面：0.5μm 両面：1μm

露光時間

1s-999s ( 0.1s間隔)

露光モード解像度

プロキシミティ：5μm ソフトコンタクト：3－5μm ハードコンタクト：2－3μm バキュームコンタクト：＜2μm

付帯設備

電源 : 400V もしくは 208V, 3P5ワイヤー真空ライン、エアーラインもしくは N2ライン、排気ライン

サイズ

71,530mmH×76,825mmW×36,290mmD

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この製品について

Model 6020は大きめのフォーマットに適したマスクアライメント露光システムです。フラットパネルディスプレイやその他の大型基板 (最大20″×20″まで) のプロセス需要に対応します。

■マスクアライナーマスクアライナーとは紫外線を用いて試料に微細なパターンを転写・焼付する装置で、マスクアライメント装置とも呼ばれます。基板素材はシリコン、ガラス、セラミック、ガリウムヒ素、推量など多岐にわたっています。一般的にトランジスタ、ICなどの半導体素子製造に使用される場合がほとんどですが、LCDガラスのパターン形成や水晶発振子の製造などにも用いられます。

OAI社のマスクアライナーは世界中でR&Dおよび量産向けに使用されています。信頼性、耐久性、技術優位性の面で他社製品より優れているとお客様からの評価を頂いています。特にコストパフォーマンスに優れたマスクアライナーとして定評があります。

オプションでコントローラ、チャックを追加するだけで「マイクロ流体チップの製造」「UVナノインプリント」が可能な装置へアップグレードさせることができます。半導体、ディスプレイ、MEMS、マイクロ流体、ナノインプリント、医療/バイオ、太陽電池 (ソーラー) 用途に最適です。

■OAI社製品の特徴・コンパクトなテーブルトップ装置で、R&D用途からセミ/フルオートマティックの量産対応機まで豊富なラインナップ。
・ライトソースのみの販売も行っております。
・永年の製造経験に基づき、充分にテスト・検証されたモジュラー部品を組み上げる事により、経済的かつ信頼性・拡張性に優れたシステムを提供。
・半導体リソグラフィー、マイクロ流体、ナノインプリント、MEMS、UV硬化 (キュア) 、バイオテクノロジー、太陽電池 (ソーラー) 、抵抗特性評価など。

型番
産用 Model6020

シリーズ
大型基板向け自動マスクアライナー量産用 Model6020

取扱企業
株式会社協同インターナショナル

カテゴリ

加工・工作機器

FPD露光装置

半導体製造

露光装置

半導体製造

ステッパ

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大型基板向け自動マスクアライナー量産用 Model6020 産用 Model6020の性能表

商品画像	価格 (税抜)	基板対応サイズ	マスク対応サイズ	アライメントステージコントロール	アライメント精度	露光時間	露光モード解像度	付帯設備	サイズ
	要見積もり	12インチ角 – 20インチ角まで	14インチ角 – 24インチ角まで	Z動作 : 1,500µm	片面：0.5μm 両面：1μm	1s-999s ( 0.1s間隔)	プロキシミティ：5μm ソフトコンタクト：3－5μm ハードコンタクト：2－3μm バキュームコンタクト：＜2μm	電源 : 400V もしくは 208V, 3P5ワイヤー真空ライン、エアーラインもしくは N2ライン、排気ライン	71,530mmH×76,825mmW×36,290mmD