量産用 Model 6000 | 全自動量産マスクアライナー量産用 Model 6000
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返答率

100.0%

返答時間

37.8時間

全型番で同じ値の指標

基板対応サイズ

50mm~200mmウェハ/角もしくは 200mm~300mmウェハ/角 100um~7mm厚 7mm~10mm反り量

アライメントステージコントロール

XY 動作 : ±6.5mm Z 動作 : 1,500µm 回転 : ±5°

アライメント精度

片面：0.5µm 両面：＜2µm (3σ)

露光時間

1s-999s ( 0.1s間隔)

露光モード解像度

プロキシミティ、ソフトコンタクト、ハードコンタクト、バキュームコンタクト

付帯設備

電源 : 220V 真空ライン、エアーラインもしくは N2ライン、排気ライン

サイズ

1,651mH x 2,184mmW x 1,364mmD

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この製品について

Model 6000はフルオートマチック、オールコンピューター制御、光学裏面密着露光の機能を兼ね備えたマスクアライナーシステムです。スループットは1時間に180ウェハが可能。半導体やMEMSの生産ラインに適したモデルです。企業の生産工業に適し、中小企業用として、研究開発用途から中量産使用についてコストパフォーマンス高く導入できます。

■マスクアライナーマスクアライナーとは紫外線を用いて試料に微細なパターンを転写・焼付する装置で、マスクアライメント装置とも呼ばれます。基板素材はシリコン、ガラス、セラミック、ガリウムヒ素、推量など多岐にわたっています。一般的にトランジスタ、ICなどの半導体素子製造に使用される場合がほとんどですが、LCDガラスのパターン形成や水晶発振子の製造などにも用いられます。

OAI社のマスクアライナーは世界中でR&Dおよび量産向けに使用されています。信頼性、耐久性、技術優位性の面で他社製品より優れているとお客様からの評価を頂いています。特にコストパフォーマンスに優れたマスクアライナーとして定評があります。

オプションでコントローラ、チャックを追加するだけで「マイクロ流体チップの製造」「UVナノインプリント」が可能な装置へアップグレードさせることができます。半導体、ディスプレイ、MEMS、マイクロ流体、ナノインプリント、医療/バイオ、太陽電池 (ソーラー) 用途に最適です。

■OAI社製品の特徴・コンパクトなテーブルトップ装置で、R&D用途からセミ/フルオートマティックの量産対応機まで豊富なラインナップ。
・ライトソースのみの販売も行っております。
・永年の製造経験に基づき、充分にテスト・検証されたモジュラー部品を組み上げる事により、経済的かつ信頼性・拡張性に優れたシステムを提供。
・半導体リソグラフィー、マイクロ流体、ナノインプリント、MEMS、UV硬化 (キュア) 、バイオテクノロジー、太陽電池 (ソーラー) 、抵抗特性評価など。

型番
量産用 Model 6000

シリーズ
全自動量産マスクアライナー量産用 Model 6000

取扱企業
株式会社協同インターナショナル

カテゴリ

加工・工作機器

FPD露光装置

半導体製造

露光装置

半導体製造

ステッパ

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見積もりの使い方

全自動量産マスクアライナー量産用 Model 6000 量産用 Model 6000の性能表

商品画像	価格 (税抜)	基板対応サイズ	アライメントステージコントロール	アライメント精度	露光時間	露光モード解像度	付帯設備	サイズ
	要見積もり	50mm~200mmウェハ/角もしくは 200mm~300mmウェハ/角 100um~7mm厚 7mm~10mm反り量	XY 動作 : ±6.5mm Z 動作 : 1,500µm 回転 : ±5°	片面：0.5µm 両面：＜2µm (3σ)	1s-999s ( 0.1s間隔)	プロキシミティ、ソフトコンタクト、ハードコンタクト、バキュームコンタクト	電源 : 220V 真空ライン、エアーラインもしくは N2ライン、排気ライン	1,651mH x 2,184mmW x 1,364mmD