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返答率
100.0%
返答時間
35.9時間
基板 対応サイズ
8インチ角 まで
マスク 対応サイズ
9インチ角 まで
アライメント ステージコントロール
XY 動作 : ±5mm 回転 : ±4°
アライメント 精度
片面：0.5~1µm 両面：＜2µm (3σ)
露光 時間
1s-3,200s ( 0.1s間隔)
露光 モード 解像度
プロキシミティ：3-5μm (15-20μmギャップ) ソフトコンタクト: 2µm ハードコンタクト: 1µm バキュームコンタクト : sub-µm
付帯設備
電源 : 220V 真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン
サイズ
1,810mmH×1,270mmW×912mmD
型番
R&D/少量産 Model800E取扱企業
株式会社協同インターナショナルカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 基板 対応サイズ | マスク 対応サイズ | アライメント ステージコントロール | アライメント 精度 | 露光 時間 | 露光 モード 解像度 | 付帯設備 | サイズ |
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要見積もり | 8インチ角 まで | 9インチ角 まで | XY 動作 : ±5mm 回転 : ±4° | 片面：0.5~1µm 両面：＜2µm (3σ) | 1s-3,200s ( 0.1s間隔) | プロキシミティ：3-5μm (15-20μmギャップ) ソフトコンタクト: 2µm ハードコンタクト: 1µm バキュームコンタクト : sub-µm | 電源 : 220V 真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン | 1,810mmH×1,270mmW×912mmD |
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