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基板 対応サイズ
12インチ角まで
マスク 対応サイズ
14インチ角まで
アライメント ステージコントロール
XY 動作 : ±10mm Z 動作 : 5mm 回転 : ± 3.5°
露光 時間
0.1s~99.0s (0.1s間隔) もしくは 1s~999s (1s間隔)
露光 モード 解像度
プロキシミティ : 5µm (20µm ギャップ) ソフトコンタクト: 2µm ハードコンタクト: 1µm バキュームコンタクト : sub-µm
付帯設備
電源 : 110V もしくは 220V ( 仕様による) 真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン
サイズ
1,067mmH×1,524mmW×1,346mmD
型番
R&D用 Model 212取扱企業
株式会社協同インターナショナルカテゴリ
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露光装置の製品37点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 基板 対応サイズ | マスク 対応サイズ | アライメント ステージコントロール | 露光 時間 | 露光 モード 解像度 | 付帯設備 | サイズ |
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要見積もり | 12インチ角まで | 14インチ角まで | XY 動作 : ±10mm Z 動作 : 5mm 回転 : ± 3.5° | 0.1s~99.0s (0.1s間隔) もしくは 1s~999s (1s間隔) | プロキシミティ : 5µm (20µm ギャップ) ソフトコンタクト: 2µm ハードコンタクト: 1µm バキュームコンタクト : sub-µm | 電源 : 110V もしくは 220V ( 仕様による) 真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン | 1,067mmH×1,524mmW×1,346mmD |
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露光装置をフィルターから探すことができます
露光解像度 μm
0 - 0.1 0.1 - 0.5 0.5 - 1 1 - 5 5 - 15露光モード
ソフトコンタクト プロキシミティ露光光源
365nm LED 375nm 半導体レーザ 超高圧水銀ランプ 385nm LED メタルハライドランプアライメント精度 µm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3露光時間 秒
0 - 1 1 - 100 100 - 1,000 1,000 - 10,000 10,000 - 360,000
