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製品特徴 ◆高性能検出アルゴリズム 一般的な2値化処理だけでなく、良品学習を用いた差分処理など多数の画像処理を用意。多様な欠陥を検出します。 ◆簡単操作 複雑な操作は必要ありません。撮影範囲レシピ、画像処理レシピを組み合わせるだけで単に検査を実行可能です。 ◆ハイスピード 専用設計された駆動系,高輝度LEDを用い、高速検査を実現しました。 6”ウェハ全面 = 10min ◆高い柔軟性 カスタマイズ対応により様々なニーズに対応します。 ・OCR対応 ・ウェハローダー対応 全自動搬送・検査装置構築 ・GEM等、上位通信 ・AI判定対応
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