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研究開発用中電流イオン注入装置 IMX-3500-アルバック販売株式会社

アルバック販売株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

168.8時間

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エネルギ

30~200keV (オプションで3~200keV対応)

最大ビーム電流

11B+400μA (200keV) 31P+600μA (200keV)

最小ビーム電流

150nA

イオン種

B、P、As、Si、Ge、Sb、In 他

この製品について

■概要

中電流イオン注入装置IMX-3500は、最大エネルギ200kV、ウェーハサイズ8インチまでの、イオン注入装置で、大学等での研究開発に最適です。

■特長

・最大ウェーハサイズ8インチで、不定形基板にも対応したプラテンを搭載しています。 ・イオン源は、ガスソースの他、B、P、Asイオンを、安全上の取扱が容易な、固体蒸発源も使用することができます。 ・HVターミナル部分は、量産装置と同じ構成になっており、高い信頼性を確保しています。

  • 型番

    IMX-3500

企業レビュー 4.8

Metoree経由で見積もり

2025年8月7日にレビュー済み

顧客対応への満足度

フォームを経由し、非常にわかりやすくスムーズなお問い合わせのご対応をいただけました。誠にありがとうございます。

初回対応までの時間への満足度

1.11時間

Metoree経由で見積もり

2025年7月28日にレビュー済み

顧客対応への満足度

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初回対応までの時間への満足度

69.57時間


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研究開発用中電流イオン注入装置 IMX-3500 IMX-3500の性能表

商品画像 価格 (税抜) エネルギ 最大ビーム電流 最小ビーム電流 イオン種
研究開発用中電流イオン注入装置 IMX-3500-品番-IMX-3500 要見積もり 30~200keV (オプションで3~200keV対応) 11B+400μA (200keV)
31P+600μA (200keV)
150nA B、P、As、Si、Ge、Sb、In 他

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使用用途

#半導体製造 #ディスプレイ製造 #パワーデバイス製造 #材料改質

加速エネルギー

低エネルギー型 中エネルギー型 高エネルギー型

ビーム構造

マルチビーム型 スキャン型

特徴

高電流型 高精度型 高真空型 コンパクト型

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

168.8時間


企業レビュー

4.8

会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都

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