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適用ワーク
Φ300mmSEMI/JEIDA規格ウェーハ
処理時間
8.0秒以内 (持ち替え無し時) 20.0秒以内 (持ち替え有り時)
処理精度
θ8 :±0.2°以内 (3σ)
処理可能範囲
±1mm以内 (ウェーハ中心ズレ量)
ウェーハ保持方法
エッジホールド
ウェーハ保持確認
フォトマイクロセンサ
通信仕様
RS-232C (シリアル通信)
ユーティリティ
電源:DC24V±10% 3A 1系統ドライエア: Φ6mm 0.35MPa ~ 0.4MP a1系統
質量
本体:約8kg
型番
MAF-SHKZ取扱企業
タツモ株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 適用ワーク | 処理時間 | 処理精度 | 処理可能範囲 | ウェーハ保持方法 | ウェーハ保持確認 | 通信仕様 | ユーティリティ | 質量 |
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要見積もり | Φ300mmSEMI/JEIDA規格ウェーハ | 8.0秒以内 (持ち替え無し時) 20.0秒以内 (持ち替え有り時) | θ8 :±0.2°以内 (3σ) | ±1mm以内 (ウェーハ中心ズレ量) | エッジホールド | フォトマイクロセンサ | RS-232C (シリアル通信) | 電源:DC24V±10% 3A 1系統ドライエア: Φ6mm 0.35MPa ~ 0.4MP a1系統 | 本体:約8kg |
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