制御・計測・センシング
駆動・機械要素・電子制御部品
産業別カテゴリ
電源・エネルギー・熱処理機器
安全・保護・環境対策
材料・素材・ケミカル
電気・電子部品
構造部品・締結要素
ソフトウェア・ネットワーク
サービス
その他
全てのカテゴリ
閲覧履歴
適用ワーク
Φ300mmSEMI/JEIDA規格ウェーハ
処理時間
8.0秒以内 (持ち替え無し時) 20.0秒以内 (持ち替え有り時)
処理精度
θ8 :±0.2°以内 (3σ)
処理可能範囲
±1mm以内 (ウェーハ中心ズレ量)
ウェーハ保持方法
エッジホールド
ウェーハ保持確認
フォトマイクロセンサ
通信仕様
RS-232C (シリアル通信)
ユーティリティ
電源:DC24V±10% 3A 1系統ドライエア: Φ6mm 0.35MPa ~ 0.4MP a1系統
質量
本体:約8kg
型番
MAF-SHKZ取扱企業
タツモ株式会社カテゴリ
もっと見る
搬送機器の製品829点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
| 商品画像 | 価格 (税抜) | 適用ワーク | 処理時間 | 処理精度 | 処理可能範囲 | ウェーハ保持方法 | ウェーハ保持確認 | 通信仕様 | ユーティリティ | 質量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
要見積もり | Φ300mmSEMI/JEIDA規格ウェーハ | 8.0秒以内 (持ち替え無し時) 20.0秒以内 (持ち替え有り時) | θ8 :±0.2°以内 (3σ) | ±1mm以内 (ウェーハ中心ズレ量) | エッジホールド | フォトマイクロセンサ | RS-232C (シリアル通信) | 電源:DC24V±10% 3A 1系統ドライエア: Φ6mm 0.35MPa ~ 0.4MP a1系統 | 本体:約8kg |
