MAF-RAPN | クリーン搬送システムプリアライナー化合物・ガラス対応裏面吸着式 MAF-RAシリーズ
タツモ株式会社

全型番で同じ値の指標

適用ワーク

Φ200mm~Φ300mmSEMI/JEIDA規格ウェーハガラスウェーハなどの特殊品は御相談下さい。

処理時間

4.5秒以内 (300mmを処理時)

処理精度

XY : ±0.1mm以内 (3g) 8:±0.1°以内 (30)

処理可能範囲

5mm以内 (ウェーハ中心ズレ)

ウェーハ保持方法

真空吸着

ウェーハ保持確認

デジタル表示付き真空センサー

通信仕様

RS-232C,RS-485 (シリアル通信) フォトI/O (パラレル通信)

ユーティリティ

電源:DC24V±10% 5A 1系統真空: -80kPa以下 1系統

質量

本体:約12kg

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この製品について

本製品は非接触にて、ウェーハのオリフラ合わせセンターリングを高速で行うユニットです。

■製品特徴・ウェーハセンタリング、角度合わせを持ち替えなしで行える為、高速処理を行ないます。
・Φ200mm~Φ300mmのSEMI/JEIDAシリコンウェーハにマルチ対応可能です。
・ウェーハサイズ及びノッチ・オリフラの種別を自動認識するため、上位コントローラからの設定が不要です。
・コントローラを内蔵したコンパクトなデザインに仕上がっています。
・RS-232Cもしくは、RS-485によるシリアル通信または、フォトI/Oによるパラレル通信で制御可能です。
・ラインセンサーにCCD方式の受光部素子を利用し、透明ガラス、化合物半導体のアライメントを実現しています。

型番
MAF-RAPN

シリーズ
クリーン搬送システムプリアライナー化合物・ガラス対応裏面吸着式 MAF-RAシリーズ

取扱企業
タツモ株式会社

カテゴリ

FA機器

搬送機器

搬送器具・装置

搬送装置

ロボット

搬送ロボット

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クリーン搬送システムプリアライナー化合物・ガラス対応裏面吸着式 MAF-RAシリーズ MAF-RAPNの性能表

商品画像	価格 (税抜)	適用ワーク	処理時間	処理精度	処理可能範囲	ウェーハ保持方法	ウェーハ保持確認	通信仕様	ユーティリティ	質量
	要見積もり	Φ200mm~Φ300mmSEMI/JEIDA規格ウェーハガラスウェーハなどの特殊品は御相談下さい。	4.5秒以内 (300mmを処理時)	XY : ±0.1mm以内 (3g) 8:±0.1°以内 (30)	5mm以内 (ウェーハ中心ズレ)	真空吸着	デジタル表示付き真空センサー	RS-232C,RS-485 (シリアル通信) フォトI/O (パラレル通信)	電源:DC24V±10% 5A 1系統真空: -80kPa以下 1系統	本体:約12kg