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適用ワーク
Φ200mm~Φ300mmSEMI/JEIDA規格ウェーハガラスウェーハなどの特殊品は御相談下さい。
処理時間
4.5秒以内 (300mmを処理時)
処理精度
XY : ±0.1mm以内 (3g) 8:±0.1°以内 (30)
処理可能範囲
5mm以内 (ウェーハ中心ズレ)
ウェーハ保持方法
真空吸着
ウェーハ保持確認
デジタル表示付き真空センサー
通信仕様
RS-232C,RS-485 (シリアル通信) フォトI/O (パラレル通信)
ユーティリティ
電源:DC24V±10% 5A 1系統真空: -80kPa以下 1系統
質量
本体:約12kg
型番
MAF-RAPN取扱企業
タツモ株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 適用ワーク | 処理時間 | 処理精度 | 処理可能範囲 | ウェーハ保持方法 | ウェーハ保持確認 | 通信仕様 | ユーティリティ | 質量 |
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要見積もり | Φ200mm~Φ300mmSEMI/JEIDA規格ウェーハガラスウェーハなどの特殊品は御相談下さい。 | 4.5秒以内 (300mmを処理時) | XY : ±0.1mm以内 (3g) 8:±0.1°以内 (30) | 5mm以内 (ウェーハ中心ズレ) | 真空吸着 | デジタル表示付き真空センサー | RS-232C,RS-485 (シリアル通信) フォトI/O (パラレル通信) | 電源:DC24V±10% 5A 1系統真空: -80kPa以下 1系統 | 本体:約12kg |
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