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マスクサイズ
□5インチ
ウエハサイズ
φ4インチ
露光照明
250W超高圧水銀灯 光学方式インテグレータレンズ方式 照度ムラ±5％以下 照度20mW/cm2 (405nm) 有効露光範囲φ100mm 露光量:デジタルタイマによるロータリーソレノイド駆動
露光モード
ソフトコンタクト
解像度
3μm
アライメントスコープ
双対物顕微鏡 10倍対物レンズ2個 (N.A.=0.15,W.D.=30mm) 対物間隔15~75mm 総合倍率100倍
ウエハステージ
XYステージストローク±5mm θ回転ストローク±5° Z軸ストローク0~4mm
アライメント方式
ウェハステージ移動によるマニュアルアライメント
アライメント精度
±3μm
設置サイズ
735 (W) x490 (D) x605 (H) mm
設置重量
約90kg
ユーティリティ
電源AC100V/15A50/60Hz 真空 (圧力) 21.3kPa (大気より-80kPa)
型番
EMA-400シリーズ
卓上型 マスクアライナ EMA-400取扱企業
ユニオン光学株式会社カテゴリ
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露光装置の製品37点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | マスクサイズ | ウエハサイズ | 露光照明 | 露光モード | 解像度 | アライメントスコープ | ウエハステージ | アライメント方式 | アライメント精度 | 設置サイズ | 設置重量 | ユーティリティ |
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要見積もり | □5インチ | φ4インチ |
250W超高圧水銀灯 光学方式インテグレータレンズ方式 照度ムラ±5％以下 照度20mW/cm2 (405nm) 有効露光範囲φ100mm 露光量:デジタルタイマによるロータリーソレノイド駆動 |
ソフトコンタクト | 3μm |
双対物顕微鏡 10倍対物レンズ2個 (N.A.=0.15,W.D.=30mm) 対物間隔15~75mm 総合倍率100倍 |
XYステージストローク±5mm θ回転ストローク±5° Z軸ストローク0~4mm |
ウェハステージ移動によるマニュアルアライメント | ±3μm | 735 (W) x490 (D) x605 (H) mm | 約90kg |
電源AC100V/15A50/60Hz 真空 (圧力) 21.3kPa (大気より-80kPa) |
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露光モードがソフトコンタクトの製品
露光装置をフィルターから探すことができます
露光解像度 μm
0 - 0.1 0.1 - 0.5 0.5 - 1 1 - 5 5 - 15露光モード
ソフトコンタクト プロキシミティ露光光源
365nm LED 375nm 半導体レーザ 超高圧水銀ランプ 385nm LED メタルハライドランプアライメント精度 µm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3露光時間 秒
0 - 1 1 - 100 100 - 1,000 1,000 - 10,000 10,000 - 360,000
