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流量(N2換算流量)
バルブタイプ
流量精度
アクチュエータ方式
耐圧力
1MPa(G)
外部リーク
1×10-7Pa･m3/secHe
取付姿勢
指定なし(自由)
シール部材質
フッ素ゴム
表面処理
機械加工仕上げ
接続継手
1/4in.SWL(相当品)、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。
ガス種
搭載MFC/MFMに準ずる
流量設定
0.25~5VDC、10回転ポテンションメーターにて可変(メーターの場合は対象外)
流量設定・出力信号/表示
0~5VDC/DP表示：スケーリング表示(トグルスイッチにて設定・出力表示切替、背面設定・出力モニター端子連動)
電源、消費電流
AC100~240V：500mA
型番
CUBE MFC 1005 / 1020 / 1030 / 1050 / 1100シリーズ
マスフローコントローラー取扱企業
エフコン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | ガス種 | 流量(N2換算流量) | バルブタイプ | 制御流量範囲 | 流量精度 | 流量設定 | 流量設定・出力信号/表示 | 再現性 | 応答時間 | 必要差圧 | 耐圧力 | 使用保証温度 | 外部リーク | 電源、消費電流 | 通信方式 | 接ガス部材質 | シール部材質 | アクチュエータ方式 | 表面処理 | 接続継手 | 付属品 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | 搭載MFC/MFMに準ずる | 10SCCM~100SLM(搭載MFC/MFMに準ずる) | NO：ノーマルオープン、newNC：ノーマルクローズ(メーターの場合は対象外) | 5~100％F.S(メーターの場合は対象外) | ±2％F.S[※±1％F.S対応可](精度保証範囲15~35℃)詳細はお問い合わせ下さい | 0.25~5VDC、10回転ポテンションメーターにて可変(メーターの場合は対象外) | 0~5VDC/DP表示：スケーリング表示(トグルスイッチにて設定・出力表示切替、背面設定・出力モニター端子連動) | ±0.2％F.S | 搭載MFCに準ずる | 搭載MFCに準ずる | 1MPa(G) | 5~50℃(精度保証範囲：15~35℃)、85％RH以下(結露なきこと) | 1×10-7Pa･m3/secHe | AC100~240V：500mA | アナログ：0~5VDC | SUS316L、PTFE、フッ素ゴム | フッ素ゴム | サーマル(メーターの場合は対象外) | 機械加工仕上げ | 1/4in.SWL(相当品)、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。 |
ACケーブル、取扱説明書 |
調節計をフィルターから探すことができます
