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ブライトライトウェハ表面検査装置 V2000-ハイソル株式会社

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この製品について

V2000ブライトライトシステムは、使いやすく効率的にウェハ表面のさまざまなタイプの欠陥を検査することができます。システムは自動または手動で操作させることが出来ます。 自動モードにおいては、ソフトウェア上で作成したレシピを使用して検査を行うことが出来、手動モードにおいては様々なプロセスを任意で行うことが可能となります。なお、自動・手動とも、全ての操作は、グラフィカルインターフェイスを通して実行することになります。

■特長

・装置にウェハカセットをセットするとマッピングを自動的に行い、ソフトウェアにその情報が記憶されます。 ・デュアルオペレーションモード (オート・マニュアル) により、効率性と操作性を両立させることができます。 ・ソフトウェア上でのレシピ作成により、ウェハ検査プロセスを容易に実施することが出来ます。レシピは装置中央のタッチパネルを操作させることで作成することができます。このレシピは全てのオペレータが共有することが可能となります。 ・3軸に傾斜・回転を行うチャックとブライトライト照射によりウェハ検査に最適な環境を作り出します。

  • 型番

    V2000

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使用用途

#欠陥検出 #ウェハ検査 #部品検査 #表面検査 #搬送収納 #高精度検査 #チップ検査 #2D3D測定

対応ウェーハサイズ mm

50 - 150 150 - 200 200 - 300

マシンサイクルタイム pcs/sec

1 - 5 5 - 10 10 - 15

画像処理部構成 台

2 - 4 4 - 8

処理時間 個/分

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 5,000

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ハイソル株式会社は、半導体、車載デバイス、センサー、LD・LED分野で、輸入製品の販売、及び、各種製造装置の開発・設計・製作・販売を行っている企業です。所在地は東京都台東区です。 1967年に、ウエスト・ボンド社製ワイヤ...

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  • 本社所在地: 東京都

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