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故障解析と大型試料における研究開発のための最先端ナノ形状計測ツール Park NX20-パーク・システムズ・ジャパン株式会社

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返答率

100.0%

返答時間

26.4時間

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全型番で同じ値の指標

Zスキャナ スキャン範囲

15μm (オプションにて30μm)

Zスキャナ ハイト (高さ) ノイズレベル

30pm、0.5kHz bandwidth/rms (typical)

XYスキャナ スキャン範囲

100µm×100µm (オプションにて50µm×50µm)

Zステージ駆動距離

25mm (電動)

フォーカスステージ駆動範囲

15mm (電動)

XYステージ駆動範囲

150mmx150mm (電動)

サンプル サイズ

最大100mm×100mmのオープンスペース、 厚さ最大20mmまで (オプションにて最大200mmx200mmまで可)

サンプル 重量

<500g

視野

840µm×630µm (10x対物レンズ使用の場合)

CCDピクセル

1Mピクセル、5Mピクセル (オプション)

この製品について

FAエンジニアとして結果を見出すことが求められますが、機械によるエラーやミスは当然許されません。Park NX20は、世界で最も正確な大型試料のAFMとして評判を得ており、データの正確性において半導体およびハードディスク業界でも非常に高く評価されています。

■より強力な故障解析ソリューション

デバイス障害の背後にある原因を明らかにし、より創造的なソリューションを開発するための独自の機能が装備されています。その比類なき精度により、作業に集中できる高解像度のデータの提供を可能にします。また、真のノンコンタクト™モードのスキャンによって、チップがより鋭く、かつ長く保たれるため、無駄な時間と費用の発生を防ぐこともできます。

■初心者でも使いやすい操作方法

業界で最もユーザーフレンドリーな設計と自動化されたインターフェイスを備えているため、ツールの使用や教育にかかる時間と労力をセーブすることができます。これにより、より大きな問題の解決に集中することができ、顧客へ明確でタイムリーな故障解析を行うことができます。

  • 型番

    NX20

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故障解析と大型試料における研究開発のための最先端ナノ形状計測ツール Park NX20 NX20の性能表

商品画像 価格 (税抜) Zスキャナ スキャン範囲 Zスキャナ ハイト (高さ) ノイズレベル XYスキャナ スキャン範囲 Zステージ駆動距離 フォーカスステージ駆動範囲 XYステージ駆動範囲 サンプル サイズ サンプル 重量 視野 CCDピクセル
故障解析と大型試料における研究開発のための最先端ナノ形状計測ツール Park NX20-品番-NX20 要見積もり 15μm (オプションにて30μm) 30pm、0.5kHz bandwidth/rms (typical) 100µm×100µm (オプションにて50µm×50µm) 25mm (電動) 15mm (電動) 150mmx150mm (電動) 最大100mm×100mmのオープンスペース、 厚さ最大20mmまで (オプションにて最大200mmx200mmまで可) <500g 840µm×630µm (10x対物レンズ使用の場合) 1Mピクセル、5Mピクセル (オプション)

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最大荷重 mN

0 - 10,000 10,000 - 100,000 100,000 - 1,100,000

深さ分解能 nm

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 1.1

荷重分解能

0 - 1 1 - 5 5 - 20 20 - 25

深さノイズフロア nm

0 - 0.1 0.1 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2

荷重速度 N/min

1 - 10 10 - 100 100 - 300

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