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ウェーハ測定及び分析のための自動化ナノ測定装置 Park NX20 300mm-パーク・システムズ・ジャパン株式会社

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Zスキャナ スキャン範囲

15μm (オプションにて30μm)

Zスキャナ ハイト (高さ) ノイズレベル

30pm、0.5kHz bandwidth/rms (typical)

XYスキャナ スキャン範囲

100µm×100µm

Zステージ駆動距離

25mm (電動)

フォーカスステージ駆動範囲

8mm (電動)

XYステージ駆動範囲

300mmx300mm (電動)

サンプル サイズ

100,150,200,300 mm ウェハー、小型サンプル マグネットサンプルホルダー、厚さ20mmまで

サンプル 重量

<500g

視野

840µm×630µm (10x対物レンズ使用の場合)

CCDピクセル

5Mピクセル

この製品について

Park NX20 300mmは、300mmX300mmのサイズの計測を完全自動化させた業界初の大型サンプル向け原子間力顕微鏡 (AFM) です。 故障解析や品質管理における研究のために設計され、手間のかかるサンプルの交換作業もなしに300mmのウェーハ全体をより効率的に検査できます。実際の騒音水準を0.5 Å、もしくは0.3 Å RMS未満で維持させます。検証されたAFMの性能とワンクリック自動測定機能により、 サンプル毎のパラメータ調整の必要性をなくしたことで、操作工程においてより効率的でユーザーに優しい仕組みになっております。 独自のSmartScan計測インターフェイスにより、300mmX300mmの領域全面において、安定的で再現性の高い連続自動多点計測を簡単に実現できます。

■大型ウェーハ研究のために特別製作

NX20 300mmは、大型サンプルを最適に測定できるよう設計されました。低ノイズAFM測定を通して、300mmウェーハの領域全体を分析することができます。これにより、まったく新しい自動化測定の可能性が広がり、ユーザーはよりシンプル、且つ迅速に、そして精度の高い作業を叶えられます。

■300mm サンプルステージを搭載した確かな性能を持つNX20

300mm自動XYステージをサポートする強化されたプラットフォームを持ったNX20 300mmは、ユーザーが大型試料を非常に正確で簡単に研究できるよう、さらなる進化を遂げています。

■Park SmartScan™により正確な測定を簡単に

SmartScan™オペレーティングソフトウエアが搭載されているため、市場において最も操作が簡単なAFMのひとつとなりました。直観的でありながらも、非常に強力なインターフェイスにより、教育を受けていないユーザーでも、指導なしに大型サンプルをすばやくスキャンが可能です。

■幅広い応用分野に対する最適化

NX20 300mmには、進化した測定及び分析機能をナノスケールで実現できる自動AFM測定法が搭載されており、熱特性やナノ機械特性イメージング機能、欠陥レビュー、電気及び磁気故障解析も兼ね備えています。粗さ、高さ及び深さの測定ができるAFMは、幅広い大型サンプルを扱う作業に理想的な装置です。

  • 型番

    NX20 300mm

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ウェーハ測定及び分析のための自動化ナノ測定装置 Park NX20 300mm NX20 300mmの性能表

商品画像 価格 (税抜) Zスキャナ スキャン範囲 Zスキャナ ハイト (高さ) ノイズレベル XYスキャナ スキャン範囲 Zステージ駆動距離 フォーカスステージ駆動範囲 XYステージ駆動範囲 サンプル サイズ サンプル 重量 視野 CCDピクセル
ウェーハ測定及び分析のための自動化ナノ測定装置 Park NX20 300mm-品番-NX20 300mm 要見積もり 15μm (オプションにて30μm) 30pm、0.5kHz bandwidth/rms (typical) 100µm×100µm 25mm (電動) 8mm (電動) 300mmx300mm (電動) 100,150,200,300 mm ウェハー、小型サンプル マグネットサンプルホルダー、厚さ20mmまで <500g 840µm×630µm (10x対物レンズ使用の場合) 5Mピクセル

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#インデンテーション試験 #スクラッチ試験 #ナノスケール観察 #機械特性評価 #生体材料評価 #赤外分光分析 #電気伝導評価 #粘弾性測定 #表面トポグラフィー #摩擦摩耗評価

最大荷重 mN

0 - 10,000 10,000 - 100,000 100,000 - 1,100,000

深さ分解能 nm

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 1.1

荷重分解能

0 - 1 1 - 5 5 - 20 20 - 25

深さノイズフロア nm

0 - 0.1 0.1 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2

荷重速度 N/min

1 - 10 10 - 100 100 - 300

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  • 本社所在地: 東京都

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