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化合物半導体の組成・膜厚の生産管理用 XRD装置 QC3 / QC-Velox-ブルカージャパン株式会社

ブルカージャパン株式会社の対応状況

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この製品について

■化合物半導体の品質管理用XRD装置

Bruker QC3 / QC-Velox装置は産業用のXRD装置として専用に設計されています。試料ステージは平置きを採用しておりますので、破損しやすいウエハーでも落下の心配がありません。また、300mmウェーハを全面マッピング可能な広いXYステージを備えておりますので、複数枚ウェーハ同時乗せホルダを利用してバッチ処理が可能です。 高速ゴニオメータと高速軸立てアルゴリズムの採用により、研究用XRDとは比較にならないほど高いスループットを誇ります。解析に用いるRADsソフトウエアは最も広く生産現場で用いられているフィッティングソフトウエアであり研究者が介在出来ない生産現場であっても円滑に解析やレポートがが行えるよう、カスタマイズが可能な強力な分析ソフトウエアです。 ウエハ自動搬送ロボット (オプション) が選択可能であり、生産ラインのさらなる省力化が見込めます。エンジニアはより多くの時間を評価以外のより重要な課題に振り向けることができます。 高速XRRチャンネル (オプション) を選択すると特許取得した集光光学系により数秒でXRRの測定及び評価が可能であり絶対膜厚測定が簡単に行えます。高速1次元検出器 (オプション, QC-Velox-E) を搭載すると従来数時間をかけて測定した逆格子マップ測定が高速 (数十秒から数分) に測定可能で、逆格子マップのシミュレーション及びフィッティング解析を提供可能です。

  • 型番

    3DAFMQC3 / QC-Velox

企業レビュー 5.0

Metoree経由で見積もり

2025年5月21日にレビュー済み

顧客対応への満足度

当方の状況も鑑み押し付けることなく見積り以外にもカタログ、文章での補足と丁寧にご対応をいただきました。

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化合物半導体の組成・膜厚の生産管理用 XRD装置 QC3 / QC-Velox 3DAFMQC3 / QC-Veloxの性能表

商品画像 価格 (税抜)
化合物半導体の組成・膜厚の生産管理用 XRD装置 QC3 / QC-Velox-品番-3DAFMQC3 / QC-Velox 要見積もり

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使用用途

#異物 #CT #実装基板 #かみこみ #形状 #質量 #医療用 #不良欠陥

X線出力 W

0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,600

管電圧 kV

20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 400 400 - 450

搬送ベルト速度 m/min

1 - 10 10 - 20 20 - 40 40 - 60 60 - 70 70 - 90

最小解像度 μm

0 - 1 1 - 5 5 - 100 100 - 200

最大サンプル重量 kg

0 - 5 5 - 30 30 - 100

検出器タイプ

FPD ラインディテクタ ラインセンサ CdTe半導体検出器 CMOSフォトダイオード

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この商品の取り扱い会社情報

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5.0

会社概要

ブルカージャパン株式会社は、高性能科学機器や、分析・診断ソリューションの開発・製造・販売を行っている企業です。 本社所在地は神奈川県横浜市であり、1975年に設立されました。 化学、生物、工業材料の試料に対する分析装置...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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