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プラズマ発生用電源・自動整合器 高性能タイプ-株式会社ダイヘン

株式会社ダイヘンの対応状況

返答率

100.0%

返答時間

142.6時間

全型番で同じ値の指標

定格出力

500W/1kW/2kW/3kW/5kW

出力安定度

±1%又は、±3Wのどちらか大きい方以内

パルス周波数

1Hz - 100kHz (2レベル)

外形寸法 幅 (W)

500W/1kW:215mm 2kW/3kW/5kW:420mm

外形寸法 高さ (H)

500W/1kW/2kW/3kW:133mm (3U) 5kW:222mm (5U)

外形寸法 奥行き (L)

500W/1kW:430mm 2kW/3kW/5kW:500mm

この製品について

2レベルパルス出力機能付高周波電源

■特徴

・3D NANDやFinFETといった最先端プロセス向けにも対応 ・高い選択性や均一性が求められるプロセス開発に貢献 ・500Wや1kWといった低パワー領域にも品揃えを拡充

  • 型番

    40.68MHz 高周波電源 500W~5kW

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プラズマ発生用電源・自動整合器 高性能タイプ 40.68MHz 高周波電源 500W~5kWの性能表

商品画像 価格 (税抜) 定格出力 出力安定度 パルス周波数 外形寸法 幅 (W) 外形寸法 高さ (H) 外形寸法 奥行き (L)
プラズマ発生用電源・自動整合器 高性能タイプ-品番-40.68MHz 高周波電源 500W~5kW 要見積もり 500W/1kW/2kW/3kW/5kW ±1%又は、±3Wのどちらか大きい方以内 1Hz - 100kHz (2レベル) 500W/1kW:215mm
2kW/3kW/5kW:420mm
500W/1kW/2kW/3kW:133mm (3U)
5kW:222mm (5U)
500W/1kW:430mm
2kW/3kW/5kW:500mm

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定格出力 W

0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,000 3,000 - 5,000 5,000 - 10,000 10,000 - 20,000 20,000 - 30,000

発振周波数 MHz

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,000

出力電力定格 W

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 5,000 5,000 - 6,000

冷却方式

空冷 水冷

出力安定度 %

1 2

使用環境 ℃

0 - 10 10 - 30 30 - 40

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

142.6時間

会社概要

株式会社ダイヘンは、変圧器や溶接機、産業用ロボット、半導体製造装置用高周波電源など産業用製品の開発を手掛けるメーカーです。 1919年に創立し、1961年には東証一部に上場、国内外に多くの拠点を持ちます。 近年では再生可...

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  • 本社所在地: 大阪府

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