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1次元位置決め精度 (X/Y)
±1.5/±1.5μm
最大速度 (X/Y)
1.5/2.0
統合センサー
絶対測定リニアエンコーダ
センサー信号
エンダット2.2
設計解像度
0.001μm
最小増分動作
10nm
最大ペイロード
15kg
花崗岩のベース 平面度
5μm
花崗岩のベース 質量
430kg
型番
X-417.x43取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 移動範囲 (XY) | 1次元位置決め精度 (X/Y) | XY直交性 | 最大速度 (X/Y) | 統合センサー | センサー信号 | 設計解像度 | 最小増分動作 | 最大ペイロード | 質量 (XY系) | 質量 (XYZ システム、御影石ベースを含む) | 花崗岩のベース 平面度 | 花崗岩のベース 質量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | 407×305mm | ±1.5/±1.5μm | 20μrad | 1.5/2.0 | 絶対測定リニアエンコーダ | エンダット2.2 | 0.001μm | 10nm | 15kg | 28kg | 486kg | 5μm | 430kg |
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移動範囲 mm
-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800位置決め精度 µm
0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4 4 - 10双方向再現性 µm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2.5真直度 µm
0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 100 100 - 300平坦度 µm
0 - 1 1 - 5 5 - 10最大速度 mm/s
0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 2,100耐荷重 N
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 2,100センサー解像度 nm
0 - 1 1 - 10 10 - 100
